VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.
Päätuotteita ovatTantaalikarbidilla päällystetty vikarengas, TaC-pinnoitettu kiertorengas, TaC-päällystetyt puolikuuosat, tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy (Aixtron G10), TaC-pinnoitettu upokas; TaC päällystetyt renkaat; TaC-pinnoitettu huokoinen grafiitti; Tantaalikarbidipinnoite Grafiittisuskeptori; TaC-pinnoitettu ohjausrengas; TaC Tantaalikarbidilla päällystetty levy; TaC-pinnoitettu kiekko-suskeptori; TaC pinnoite rengas; TaC Coating Grafiitti kansi; TaC-pinnoitettu palajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.
TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:
Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.
Lämpötilan vakaus
Ultra korkea puhtaus
Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle
Kestää lämpövarastoa
Vahva tarttuvuus grafiittiin
Muodollinen pinnoitteen peitto
Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)
Kiekon kantaja
Induktiivinen lämmityssuskeptori
Resistiivinen lämmityselementti
Satelliittilevy
Suihkupää
Ohjausrengas
LED Epi vastaanotin
Ruiskutussuutin
Peiterengas
Lämpösuoja
TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet | |
Tiheys | 14,3 (g/cm³) |
Ominaisemissiokyky | 0.3 |
Lämpölaajenemiskerroin | 6.3 10-6/K |
Kovuus (HK) | 2000 HK |
Resistanssi | 1×10-5Ohmi*cm |
Lämpöstabiilisuus | <2500 ℃ |
Grafiitin koko muuttuu | -10-20um |
Pinnoitteen paksuus | ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
Elementti | Atomiprosentti | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskimäärin | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductorin TaC Coating Rotation Plate -levyssä on erinomainen TaC-pinnoite. Poikkeuksellisen TaC-pinnoitteensa ansiosta TaC Coating Rotation Plate -levyillä on huomattava korkeiden lämpötilojen kestävyys ja kemiallinen inertisyys, mikä erottaa sen perinteisistä ratkaisuista. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. hinnat ja odotan innolla olevaa pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin TaC-pinnoitelevy on merkittävä tuote, joka tarjoaa poikkeuksellisia ominaisuuksia ja etuja. Tarkkaan suunniteltu ja täydellisesti suunniteltu TaC-pinnoitelevymme on erityisesti räätälöity erilaisiin piikarbidin (SiC) yksikidekasvatusprosesseihin. TaC-pinnoitelevyn tarkat mitat ja vankka rakenne tekevät siitä helpon integroinnin olemassa oleviin järjestelmiin, mikä varmistaa saumattoman yhteensopivuuden. ja tehokas toiminta. Sen luotettava suorituskyky ja korkealaatuinen pinnoite edistävät johdonmukaisia ja yhtenäisiä tuloksia piikarbidikiteiden kasvusovelluksissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin CVD TaC -pinnoite on erittäin erikoistunut komponentti, joka on suunniteltu erityisesti vaativiin sovelluksiin. Edistyneillä ominaisuuksilla ja poikkeuksellisella suorituskyvyllämme CVD TaC -pinnoitekannellamme on useita keskeisiä etuja. CVD TaC -pinnoitussuojuksemme tarjoaa menestykseen tarvittavan suojan ja suorituskyvyn. Odotamme innolla, että pääsemme tutkimaan mahdollista yhteistyötä kanssasi!
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor on poikkeuksellinen tuote Aixtron-epitaksilaitteille. Vankka TaC-pinnoite tarjoaa erinomaisen korkeiden lämpötilojen kestävyyden ja kemiallisen inerttiyden. Tämä ainutlaatuinen yhdistelmä takaa luotettavan suorituskyvyn ja pitkän käyttöiän vaativissakin olosuhteissa. VeTek on sitoutunut tarjoamaan korkealaatuisia tuotteita ja toimimaan pitkän aikavälin kumppanina Kiinan markkinoilla kilpailukykyisin hinnoin.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin TaC Coating Jalustan tukilevy on erittäin tarkka tuote, joka on suunniteltu täyttämään puolijohteiden epitaksiprosessien erityisvaatimukset. TaC-pinnoitteensa, korkean lämpötilan kestävyytensä ja kemiallisen inertiteettinsä ansiosta tuotteemme antavat sinulle mahdollisuuden tuottaa korkealaatuisia korkealaatuisia EPI-kerroksia. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin TaC Coating Chuckissa on korkealaatuinen TaC-pinnoite, joka tunnetaan erinomaisesta korkeiden lämpötilojen kestävyydestään ja kemiallisesta inertsistään, erityisesti piikarbidin (SiC) epitaksiprosesseissa (EPI). Poikkeuksellisten ominaisuuksiensa ja erinomaisen suorituskyvyn ansiosta TaC Coating Chuck tarjoaa useita keskeisiä etuja. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely