Tantaalikarbidilla päällystetty rengas

VeTek-puolijohdetantaalikarbidilla päällystetty rengas on valmistettugrafiittija päällystetty tantaalikarbidilla, yhdistelmällä, joka hyödyntää molempien materiaalien parhaat ominaisuudet varmistaakseen erinomaisen suorituskyvyn ja pitkäikäisyyden. 

Tantaalikarbidipinnoitusrenkaan TaC-pinnoite varmistaa, että se pysyy kemiallisesti inerttinä piikarbidikiteiden kasvatusuunien reaktiivisissa ilmakehissä, joissa on usein mukana kaasuja, kuten vetyä, argonia ja typpeä. Tämä kemiallinen inertisyys on elintärkeää estämään kasvavan kiteen kontaminoituminen, mikä voi johtaa vioista ja lopullisten puolijohdetuotteiden suorituskyvyn heikkenemiseen. Lisäksi TaC-pinnoitteen tarjoama lämpöstabiilisuus mahdollistaa tantaalikarbidipinnoitusrenkaan toiminnan tehokkaasti korkeissa lämpötiloissa, jotka vaaditaan piikarbidikiteiden kasvuun, tyypillisesti yli 2000 °C.

TaC:n mekaaniset ominaisuudet vähentävät huomattavasti tantaalikarbidipinnoiterenkaan kulumista. Tämä on ratkaisevan tärkeää kiteen kasvuprosessin toistuvan luonteen vuoksi, mikä altistaa ohjausrenkaan toistuville lämpösykleille ja mekaanisille rasituksille. TaC:n kovuus ja kulutuskestävyys takaavat, että TaC Coated Ring säilyttää rakenteellisen eheytensä ja tarkat mitat pitkiä aikoja, minimoiden toistuvien vaihtojen tarpeen ja vähentäen tuotantoprosessin seisokkeja. 

Additionally, the combination of graphite and TaC in the Tantalum Carbide Coating Ring optimizes thermal management within the crystal growth furnace. Graphite's high thermal conductivity efficiently distributes heat, preventing hotspots and promoting uniform crystal growth. Meanwhile, the TaC coating serves as a thermal barrier, protecting the graphite core from direct exposure to high temperatures and reactive gases. This synergy between the core and coating materials results in a guide ring that not only withstands the harsh conditions of SiC-kiteiden kasvumutta myös parantaa prosessin yleistä tehokkuutta ja laatua.

VeTek-puolijohde-tantaalikarbidilla päällystetty rengas on puolijohdeteollisuuden olennainen osa, joka on erityisesti suunniteltuPiikarbidikiteet. Sen suunnittelussa hyödynnetään grafiitin ja tantaalikarbidin vahvuuksia, jotta se tarjoaa poikkeuksellisen suorituskyvyn korkeissa lämpötiloissa ja korkean jännityksen ympäristöissä. TaC-pinnoite varmistaa kemiallisen inertin, mekaanisen kestävyyden ja lämpöstabiilisuuden, jotka kaikki ovat kriittisiä korkealaatuisten SiC-kiteiden valmistuksessa. Ylläpitämällä eheytensä ja toimivuutensa äärimmäisissä olosuhteissa rengas tukee SiC-kiteiden tehokasta ja virheetöntä kasvua, mikä edistää suuritehoisten ja korkeataajuisten puolijohdelaitteiden kehitystä.

VeTek Semiconductor on johtava valmistaja ja toimittajaTantaalikarbidipinnoite, PiikarbidipinnoitejaErityinen grafiittiKiinassa. Olemme pitkään sitoutuneet tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle, ja toivomme vilpittömästi, että voimme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoitemikroskooppisessa poikkileikkauksessa：

Yleiskatsauspuolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketju：