Kiina Piinitridi Valmistaja, toimittaja, tehdas

VeTek Semiconductor keskittyy piinitridin valmistukseen ja sillä on tutkimus- ja kehitystiimi, joka koostuu johtavista asiantuntijoista ja huipputeknisistä kyvyistä. Piinitridikeramiikassa on yleisten keraamisten materiaalien kovuuden, lämmönkestävyyden, kulutuskestävyyden ja korroosionkestävyyden edut, ja niillä on hyvä lämpöiskunkestävyys, korkean lämpötilan virumiskestävyys, hyvä itsevoitelu ja hyvä kemiallinen stabiilisuus, ja niitä on laajalti. käytetään uudella energia-, kemian-, ilmailu- ja puolijohdealoilla.

VeTek Semiconductorin piinitridimateriaalilla on seuraavat huomattavat edut:

1. Erinomainen kemiallinen stabiilisuus

Piinitridikeramiikalla on erinomainen kemiallinen stabiilisuus ja ne kestävät erilaisia ​​vahvoja happoja, emäksiä ja syövyttäviä kaasuja. Puolijohteiden valmistusprosessissa on usein käsiteltävä syövyttäviä kemikaaleja, piinitridikeramiikka voi tarjota pitkän aikavälin vakaan suoritustakuun.

2. Erinomaiset mekaaniset ominaisuudet

Piinitridikeramiikalla on korkea kovuus, erinomainen puristuslujuus ja kulutuskestävyys, ne kestävät mekaanista rasitusta ja pinnan kulumista, eivät helposti muodostuneet tai murtuvat. Tämä mekaaninen ominaisuus tekee siitä erittäin sopivan puolijohdelaitteiden rakenne- ja prosessiosien materiaaliksi.

3. Vakaus korkeissa lämpötiloissa

Piinitridikeramiikka voi säilyttää vakauden korkeissa lämpötiloissa, ei ole helppo pehmentää tai sulattaa, ja se kestää korkean lämpötilan käsittelyä ja käsittelyä puolijohteiden valmistusprosessissa. Tämä mahdollistaa sen käytön korkean lämpötilan prosessilaitteiden avainkomponenttien valmistuksessa, kuten tarttujat, reaktiokammiokomponentit ja niin edelleen.

4. Erinomaiset eristysominaisuudet

Eristysominaisuudet ovat kriittisiä puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Piinitridikeramiikalla on hyvät eristysominaisuudet, jotka voivat tehokkaasti eristää ja suojata piirikomponentteja virtavuodolta tai sähkömagneettisilta häiriöiltä, ​​mikä auttaa parantamaan laitteen vakautta ja luotettavuutta.

5. Lämmönjohtavuus ja lämmönjohtavuus

Piinitridikeramiikalla on korkea lämmönjohtavuus, se voi tehokkaasti johtaa ja haihduttaa laitteen tuottamaa lämpöä, mikä auttaa säilyttämään laitteen lämpötilan vakauden käyttöprosessissa. Tämä on kriittistä puolijohdelaitteiden korkean suorituskyvyn toiminnalle.

VeTek Semiconductorin piinitridimateriaalien sovelluksia aurinko- ja puolijohdeteollisuudessa ovat pääasiassa:

1. Sähköstaattiset istukat ja etsauskammion osat

Piinitridikeramiikkaa käytetään usein materiaaleina sähköstaattisissa istukkaissa ja etsauskammion komponenteissa puolijohteiden valmistuksessa niiden erinomaisen kemiallisen stabiilisuuden ja korkean lämpötilan kestävyyden vuoksi. Sähköstaattisia istukkaa käytetään kiekkojen tai alustojen kiinnittämiseen ja stabilointiin, kun taas etsauskammion komponentteja käytetään kestämään syövyttäviä kaasuja ja korkeita lämpötiloja.

2. kaasunjakolevyt ja heijastimet

Piinitridikeramiikkaa käytetään myös puolijohdelaitteiden valmistuksessa kaasunjakolevyissä ja heijastimissa. Kaasunjakolevyjä käytetään reaktiivisten tai suojaavien kaasujen tasaiseen jakautumiseen reaktiokammioon, kun taas heijastimia käytetään optimoimaan valon jakautuminen ja heijastus reaktiokammiossa reaktion tehokkuuden ja tasaisuuden parantamiseksi.

3. Pitimet ja lämpökomponentit

Piinitridikeramiikkaa käytetään usein pidikkeinä ja lämmönhallintakomponentteina puolijohteiden valmistuslaitteissa. Näillä komponenteilla on oltava hyvä mekaaninen lujuus, kulutuskestävyys ja lämmönjohtavuus varmistaakseen laitteiden vakaan toiminnan ja laitteen käsittelytarkkuuden.

4. Kemialliset mekaaniset kiillotustyynyt (CMP).

Piinitridikeramiikkaa käytetään laajalti tyynymateriaalina kemiallisessa mekaanisessa kiillotusprosessissa (CMP). Sillä on erinomainen tasaisuus ja kulutuskestävyys, ja se voi tarjota vakaan tuen kiillotusprosessin aikana varmistaakseen puolijohdekiekon pinnan tasaisuuden ja tarkkuuden.