TaC Coating Planetary Susceptor

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor on poikkeuksellinen tuote Aixtron-epitaksilaitteille. Vankka TaC-pinnoite tarjoaa erinomaisen korkeiden lämpötilojen kestävyyden ja kemiallisen inerttiyden. Tämä ainutlaatuinen yhdistelmä takaa luotettavan suorituskyvyn ja pitkän käyttöiän vaativissakin olosuhteissa. VeTek on sitoutunut tarjoamaan korkealaatuisia tuotteita ja toimimaan pitkän aikavälin kumppanina Kiinan markkinoilla kilpailukykyisin hinnoin.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Puolijohteiden valmistuksen alalla TaC Coating Planetary Susceptorilla on ratkaiseva rooli. Sitä käytetään laajasti piikarbidin (SiC) epitaksiaalisten kerrosten kasvattamiseen laitteissa, kuten Aixtron G5 -järjestelmässä. Lisäksi, kun TaC Coating Planetary Susceptor -sukeptoria käytetään ulkolevynä tantaalikarbidin (TaC) pinnoituspinnoituksessa piikarbidin epitaksia varten, se tarjoaa olennaisen tuen ja vakauden. Se varmistaa tantaalikarbidikerroksen tasaisen kerrostumisen ja myötävaikuttaa korkealaatuisten epitaksiaalisten kerrosten muodostumiseen, joilla on erinomainen pintamorfologia ja haluttu kalvon paksuus. TaC-pinnoitteen kemiallinen inertisyys estää ei-toivotut reaktiot ja kontaminaatiot, säilyttää epitaksiaalisten kerrosten eheyden ja varmistaa niiden erinomaisen laadun.

TaC-pinnoitteen poikkeuksellinen lämmönjohtavuus mahdollistaa tehokkaan lämmönsiirron, edistää tasaista lämpötilan jakautumista ja minimoi lämpörasituksen epitaksiaalisen kasvuprosessin aikana. Tämä johtaa korkealaatuisten SiC-epitaksiaalisten kerrosten tuotantoon, joilla on parannetut kristallografiset ominaisuudet ja parannettu sähkönjohtavuus.

TaC Coating Planetary Disk -levyn tarkat mitat ja vankka rakenne tekevät siitä helpon integroinnin olemassa oleviin järjestelmiin, mikä varmistaa saumattoman yhteensopivuuden ja tehokkaan toiminnan. Sen luotettava suorituskyky ja korkealaatuinen TaC-pinnoite edistävät yhtenäisiä ja yhtenäisiä tuloksia piikarbidin epitaksiprosesseissa.

Luota VeTek Semiconductoriin ja TaC Coating Planetary Disk -levyyn poikkeuksellisen suorituskyvyn ja luotettavuuden saavuttamiseksi piikarbidiepitaksissa. Koe innovatiivisten ratkaisujemme edut, mikä asettaa sinut puolijohdeteollisuuden teknologisen kehityksen eturintamaan.

Toimitamme TaC-pinnoitteen ja SiC-pinnoitteen varaosat:

TaC Coating Planetary Susceptorin tuoteparametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6,3 10-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10-5 ohmia*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)