8 tuuman Halfmoon osa LPE-reaktoritehtaalle

Tantaalikarbidilla päällystetyn planeettapyörivän levyn valmistaja

Kiina kiinteä piikarbidi etsauksen tarkennusrengas

SiC-pinnoitettu piippuvaskeptori LPE PE2061S -toimittajalle

Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.

Päätuotteita ovat tantaalikarbidilla päällystetty defektorirengas, TaC-pinnoitettu kiertorengas, TaC-päällystetyt puolikuuosat, tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy (Aixtron G10), TaC-pinnoitettu upokas; TaC päällystetyt renkaat; TaC-pinnoitettu huokoinen grafiitti; Tantaalikarbidipinnoite Grafiittisuskeptori; TaC-pinnoitettu ohjausrengas; TaC Tantaalikarbidilla päällystetty levy; TaC-pinnoitettu kiekko-suskeptori; TaC pinnoite rengas; TaC Coating Grafiitti Cover; TaC Coated Chunk jne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.

TaC-pinnoitusgrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:

Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.

VeTek Semiconductor tantaalikarbidipinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6,3 10-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10-5 ohmia*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot

Elementti	Atomiprosentti
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskiverto
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-pinnoiteistukka TaC Coating Planetary Disk TaC päällystetty levy TaC-pinnoitteen pyörityslevy TaC-pinnoite suskeptori CVD TaC pinnoite Kansi CVD TaC -pinnoiterengas TaC-pinnoituslevy

Piikarbidipinnoite

VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.

Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille, jotka suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.

VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.

Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksiassa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.

Voimme tehdä reaktorin osat:

Piikarbidipinnoitteella on useita ainutlaatuisia etuja:

VeTek Semiconductor piikarbidipinnoitteen parametri:

CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet
Omaisuus	Tyypillinen arvo
Kristallirakenne	FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu
Tiheys	3,21 g/cm³
Kovuus	2500 Vickers-kovuus (500g kuorma)
Jyvän koko	2-10 μm
Kemiallinen puhtaus	99,99995 %
Lämpökapasiteetti	640 J·kg-1·K-1
Sublimaatiolämpötila	2700℃
Taivutusvoima	415 MPa RT 4-piste
Youngin Modulus	430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃
Lämmönjohtokyky	300W·m-1·K-1
Lämpölaajeneminen (CTE)	4,5×10-6K-1

Esittelyssä olevat tuotteet

Meistä

VeTek semiconductor Technology Co., LTD, perustettu vuonna 2016, on johtava edistyneiden pinnoitemateriaalien toimittaja puolijohdeteollisuudelle. Perustajamme, entinen asiantuntija Kiinan tiedeakatemian materiaaliinstituutista, perusti yrityksen keskittyen alan huippuluokan ratkaisujen kehittämiseen.

Päätuotevalikoimaamme ovat mmCVD piikarbidi (SiC) pinnoitteet, tantaalikarbidi (TaC) pinnoitteet, bulkkipiikarbidi, piikarbidijauheet ja erittäin puhtaat piikarbidit. Päätuotteita ovat piikarbidilla päällystetyt grafiittisuskeptorit, esilämmitysrenkaat, TaC-pinnoitetut kiertorenkaat, puolikuuosat jne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.

Lue lisää