TaC Coating Jalustan tukilevy

VeTek Semiconductor on kiinalainen valmistaja ja toimittaja, joka valmistaa pääasiassa CVD TaC -pinnoitussuskeptoreita, tulorengasta, Wafer Chunckia, TaC-pinnoitettua pidikettä, TaC Coating -jalustatukilevyä monen vuoden kokemuksella. Toivottavasti rakentaa liikesuhdetta kanssasi.

TaC-keraamien sulamispiste on jopa 3880 ℃, korkea kovuus (Mohsin kovuus 9 ~ 10), suuri lämmönjohtavuus (22W·m-1·K−1), suuri taivutuslujuus (340 ~ 400 MPa) ja pieni lämpölaajeneminen kerroin (6.6×10−6K−1), ja niillä on erinomainen termokemiallinen stabiilius ja erinomaiset fysikaaliset ominaisuudet. Sillä on hyvä kemiallinen ja mekaaninen yhteensopivuus grafiitin ja C/C-komposiittimateriaalien kanssa, joten TaC-pinnoitetta käytetään laajalti ilmailun lämpösuojauksessa, yksikidekasvustossa ja epitaksiaalisissa reaktoreissa, kuten Aixtron, LPE EPI-reaktori puolijohdeteollisuudessa. TaC-pinnoitetulla grafiitilla on parempi kemiallinen korroosionkestävyys kuin paljaalla kivimusteella tai piikarbidilla päällystetyllä grafiitilla, sitä voidaan käyttää vakaasti 2200° korkeassa lämpötilassa, ei reagoi monien metallielementtien kanssa, on kolmannen sukupolven puolijohteiden yksikidekasvatus-, epitaksi- ja kiekkoetsauskohtaus Parhaan suorituskyvyn pinnoite voi parantaa merkittävästi lämpötilan ja epäpuhtauksien hallintaa, korkealaatuisten piikarbidikiekkojen ja niihin liittyvien epitaksiaalisten kiekkojen valmistusta. Se soveltuu erityisen hyvin GaN- tai AlN-yksikiteiden kasvattamiseen MOCVD-laitteissa ja SiC-yksikiteiden kasvattamiseen PVT-laitteissa, ja kasvatettujen yksikiteiden laatu on selvästi parantunut.

TaC-pinnoite ja SiC-pinnoite Varaosat voimme tehdä:

TaC-pinnoitteen parametri:

Teollisuusketju:

Tuotantomyymälä