VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.
Päätuotteita ovatTantaalikarbidilla päällystetty vikarengas, TaC-pinnoitettu kiertorengas, TaC-päällystetyt puolikuuosat, tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy (Aixtron G10), TaC-pinnoitettu upokas; TaC päällystetyt renkaat; TaC-pinnoitettu huokoinen grafiitti; Tantaalikarbidipinnoite Grafiittisuskeptori; TaC-pinnoitettu ohjausrengas; TaC Tantaalikarbidilla päällystetty levy; TaC-pinnoitettu kiekko-suskeptori; TaC pinnoite rengas; TaC Coating Grafiitti kansi; TaC-pinnoitettu palajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.
TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:
Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.
Lämpötilan vakaus
Ultra korkea puhtaus
Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle
Kestää lämpövarastoa
Vahva tarttuvuus grafiittiin
Muodollinen pinnoitteen peitto
Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)
Kiekon kantaja
Induktiivinen lämmityssuskeptori
Resistiivinen lämmityselementti
Satelliittilevy
Suihkupää
Ohjausrengas
LED Epi vastaanotin
Ruiskutussuutin
Peiterengas
Lämpösuoja
TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet | |
Tiheys | 14,3 (g/cm³) |
Ominaisemissiokyky | 0.3 |
Lämpölaajenemiskerroin | 6.3 10-6/K |
Kovuus (HK) | 2000 HK |
Resistanssi | 1×10-5Ohmi*cm |
Lämpöstabiilisuus | <2500 ℃ |
Grafiitin koko muuttuu | -10-20um |
Pinnoitteen paksuus | ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
Elementti | Atomiprosentti | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskimäärin | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor on johtava TaC-pinnoitettujen kolmiterälehtisten renkaiden valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet TaC- ja SiC-pinnoitteisiin useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korroosionkestävyys, korkea lujuus. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidilla päällystetyn istukan valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet TaC-pinnoitteisiin useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus ja korkeiden lämpötilojen kestävyys 2000 ℃ asti. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäkestoiseksi kumppani Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidipäällysteisten kansien valmistaja ja uudistaja Kiinassa. Olemme erikoistuneet TaC- ja SiC-pinnoitteisiin useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korroosionkestävyys, korkea lujuus. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyHuokoinen TaC-pinnoitettu grafiitti on VeTek Semiconductorin tarjoama edistynyt puolijohteiden käsittelymateriaali. Huokoinen grafiitti TaC Coated -pinnoitteella yhdistää huokoisen grafiitti- ja tantaalikarbidipinnoitteen (TaC) edut sekä hyvän lämmönjohtavuuden ja kaasunläpäisevyyden. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitteen valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Keskitymme tarjoamaan erittäin puhtaita, korkeita lämpötiloja kestäviä tantaalikarbidituotteita. Tantaalikarbidilla päällystetyllä kansillamme on erinomainen suorituskyky ja luotettavuus, ja se voi tehokkaasti suojata materiaaleja erittäin korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin TaC Coated Deflector Ring on pitkälle erikoistunut komponentti, joka on suunniteltu piikarbidikiteiden kasvatusprosesseihin. TaC-pinnoite tarjoaa erinomaisen korkeiden lämpötilojen kestävyyden ja kemiallisen inerttiyden selviytyäkseen korkeista lämpötiloista ja syövyttävistä ympäristöistä kiteen kasvuprosessin aikana. Tämä varmistaa komponentin vakaan suorituskyvyn ja pitkän käyttöiän, mikä vähentää vaihtotiheyttä ja seisokkeja. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely