VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.
Päätuotteita ovatTantaalikarbidilla päällystetty vikarengas, TaC-pinnoitettu kiertorengas, TaC-päällystetyt puolikuuosat, tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy (Aixtron G10), TaC-pinnoitettu upokas; TaC päällystetyt renkaat; TaC-pinnoitettu huokoinen grafiitti; Tantaalikarbidipinnoite Grafiittisuskeptori; TaC-pinnoitettu ohjausrengas; TaC Tantaalikarbidilla päällystetty levy; TaC-pinnoitettu kiekko-suskeptori; TaC pinnoite rengas; TaC Coating Grafiitti kansi; TaC-pinnoitettu palajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.
TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:
Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.
Lämpötilan vakaus
Ultra korkea puhtaus
Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle
Kestää lämpövarastoa
Vahva tarttuvuus grafiittiin
Muodollinen pinnoitteen peitto
Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)
Kiekon kantaja
Induktiivinen lämmityssuskeptori
Resistiivinen lämmityselementti
Satelliittilevy
Suihkupää
Ohjausrengas
LED Epi vastaanotin
Ruiskutussuutin
Peiterengas
Lämpösuoja
TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet | |
Tiheys | 14,3 (g/cm³) |
Ominaisemissiokyky | 0.3 |
Lämpölaajenemiskerroin | 6.3 10-6/K |
Kovuus (HK) | 2000 HK |
Resistanssi | 1×10-5Ohmi*cm |
Lämpöstabiilisuus | <2500 ℃ |
Grafiitin koko muuttuu | -10-20um |
Pinnoitteen paksuus | ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
Elementti | Atomiprosentti | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskimäärin | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Ammattimaisena innovaattorina ja tantaalikarbidipinnoitettujen rengastuotteiden johtajana Kiinassa, VeTek-puolijohde-tantaalikarbidilla päällystetty rengas on korvaamaton rooli piikarbidikiteiden kasvussa erinomaisen korkean lämpötilan kestävyytensä, kulutuskestävyytensä ja erinomaisen lämmönjohtavuutensa ansiosta. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen huokoisten tantaalikarbidituotteiden valmistaja ja johtaja Kiinassa. Huokoinen tantaalikarbidi valmistetaan yleensä kemiallisella höyrypinnoitusmenetelmällä (CVD), mikä varmistaa sen huokoskoon ja jakautumisen tarkan hallinnan, ja se on materiaalityökalu, joka on tarkoitettu korkeiden lämpötilojen äärimmäisiin ympäristöihin. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kyselyEdistyksellisenä tantaalikarbidirengastuotteiden valmistajana ja tuottajana Kiinassa VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Ringillä on erittäin korkea kovuus, kulutuskestävyys, korkean lämpötilan kestävyys ja kemiallinen stabiilisuus, ja sitä käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksessa. Erityisesti CVD:ssä, PVD:ssä, ioni-istutusprosessissa, etsausprosessissa sekä kiekkojen käsittelyssä ja kuljetuksessa se on välttämätön tuote puolijohteiden käsittelyssä ja valmistuksessa. Odotan innolla lisäkonsultaatiotasi.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena tantaalikarbidin pinnoitetukituotteiden valmistajana ja tehtaana Kiinassa VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support -tukea käytetään yleensä puolijohdelaitteiden rakenneosien tai tukikomponenttien pintapinnoitukseen, erityisesti puolijohteiden valmistusprosessien tärkeimpien laitekomponenttien pinnan suojaamiseen, kuten esim. CVD ja PVD. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen tantaalikarbidiohjainrenkaiden valmistaja ja johtaja Kiinassa. Tantaalikarbidi (TaC) -ohjainrenkaamme on korkean suorituskyvyn tantaalikarbidista valmistettu rengaskomponentti, jota käytetään yleisesti puolijohteiden käsittelylaitteissa, erityisesti korkeissa lämpötiloissa ja erittäin syövyttävissä ympäristöissä, kuten CVD, PVD, syövytys ja diffuusio. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle, ja on tyytyväinen lisätiedusteluihin.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena valmistajana, innovaattorina ja TaC Coating Rotation Susceptor -tuotteiden johtajana Kiinassa. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor asennetaan yleensä kemialliseen höyrypinnoitus (CVD) ja molekyylisuihkuepitaksi (MBE) -laitteisiin tukemaan ja pyörittämään kiekkoja tasaisen materiaalin kerrostumisen ja tehokkaan reaktion varmistamiseksi. Se on avainkomponentti puolijohdekäsittelyssä. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kysely