Piikarbidikiekkoistukka

VeTek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck käyttää piikarbidimateriaalien erinomaisia ​​ominaisuuksia täyttääkseen puolijohteiden tuotannon tiukat vaatimukset, erityisesti puolijohteiden käsittelyssä, joka vaatii erittäin suurta tarkkuutta ja luotettavuutta.

Puolijohteiden käsittelyprosessissa,Piikarbidisillä on erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys (voi toimia vakaasti jopa 1400 °C:ssa), alhainen johtavuus (SiC:llä on suhteellisen alhainen johtavuus, tyypillisesti 10^^-3S/m) ja alhainen lämpölaajenemiskerroin (noin 4,0 × 10^).^-6/°C), joka on välttämätön ja tärkeä materiaali, joka sopii erityisesti piikarbidikiekkoistukan valmistukseen.

aikanaepitaksiaalinen kasvuprosessi, ohut kerros puolijohdemateriaalia kerrostetaan substraatille, mikä edellyttää absoluuttista vakautta kiekolta tasaisten ja laadukkaiden kalvopinnoituskerrosten varmistamiseksi. SiC Vacuum Chuck saavuttaa tämän luomalla lujan, tasaisen alipaineen, joka estää kiekon liikkumisen tai muodonmuutoksen.

Piikarbidi Wafer Chuck tarjoaa myös erinomaisen lämpöshokin kestävyyden. Nopeat lämpötilan muutokset ovat yleisiä puolijohteiden valmistuksessa, ja materiaalit, jotka eivät kestä näitä vaihteluita, voivat halkeilla, taipua tai epäonnistua. Piikarbidilla on alhainen lämpölaajenemiskerroin, ja se voi säilyttää muotonsa ja toimintansa jopa rajuissa lämpötilan muutoksissa, mikä varmistaa, että kiekko pysyy turvallisena epitaksiprosessin aikana ilman liikettä tai kohdistusvirheitä.

Lisäksi,epitaksiprosessisisältää usein reaktiivisia kaasuja ja muita syövyttäviä kemikaaleja. SiC Wafer Chuckin kemiallinen inertisyys varmistaa, että nämä ankarat ympäristöt eivät vaikuta siihen, mikä säilyttää sen suorituskyvyn ja pidentää sen käyttöikää. Tämä kemiallinen kestävyys ei vain vähennä kiekkoistukan vaihtotiheyttä, vaan myös varmistaa tuotteen tasaisen suorituskyvyn useiden tuotantosyklien aikana, mikä auttaa parantamaan puolijohteiden valmistusprosessin yleistä tehokkuutta ja kustannustehokkuutta.

VeTek Semiconductor on johtava piikarbidikiekkotukkien valmistaja ja toimittaja Kiinassa. Voimme tarjota erilaisia ​​Chuck-tuotteita, kutenHuokoinen SiC keraaminen istukka, Huokoinen SiC tyhjiöistukka, Huokoinen keraaminen tyhjiöistukkajaTaC-pinnoitettu istukkajne. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Toivomme vilpittömästi, että voimme tulla pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

SEM-TIEDOT OF CVDSIC FILM CRYSTAL RAKENNE：

VeTek Semiconductor Siliconductor Piikarbidikiekkoistukkaliikkeet：