VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.
Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.
VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.
Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.
CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Kristallirakenne | FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu |
Tiheys | 3,21 g/cm³ |
Kovuus | 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g) |
viljan koko | 2-10 μm |
Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimaatiolämpötila | 2700℃ |
Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
Youngin Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
Lämmönjohtavuus | 300W·m-1·K-1 |
Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Johtavana MOCVD-tuotteiden piikarbidipinnoitettujen satelliittisuojusten valmistajana ja toimittajana Kiinassa, Vetek Semiconductor SiC -pinnoitetulla satelliittisuojuksella MOCVD-tuotteille on äärimmäisen korkeiden lämpötilojen kestävyys, erinomainen hapettumisenkestävyys ja erinomainen korroosionkestävyys, ja niillä on korvaamaton rooli korkealaatuisen epitaksiaalin varmistamisessa. kasvu kiekoilla. Tervetuloa lisätiedusteluihin.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava puolijohdelaitteiden valmistaja Kiinassa ja ammattimainen Solid SiC -levyn muotoisen suihkupään valmistaja ja toimittaja. Levymuotoista suihkupäätämme käytetään laajalti ohutkalvopinnoitustuotannossa, kuten CVD-prosessissa, jotta voidaan varmistaa reaktiokaasun tasainen jakautuminen, ja se on yksi CVD-uunin ydinkomponenteista.
Lue lisääLähetä kyselyCVD SiC päällystetty kiekko Tynnyripidike on epitaksiaalisen kasvuuunin avainkomponentti, jota käytetään laajalti MOCVD-epitaksiaalisissa kasvatusuuneissa. VeTek Semiconductor tarjoaa sinulle erittäin räätälöityjä tuotteita. Ei ole väliä mitä tarvitset CVD SiC päällystetylle kiekkotelineelle, tervetuloa ottamaan yhteyttä meihin.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor CVD SiC -pinnoite tynnyrisuskeptori on tynnyrityyppisen epitaksiaalisen uunin ydinkomponentti. CVD SiC -pinnoitetun tynnyrin suskeptorin avulla epitaksiaalisen kasvun määrä ja laatu paranevat huomattavasti.VeTek Semiconductor on ammattimainen piikarbidipinnoitteen valmistaja ja toimittaja. Barrel Susceptor, ja on johtavalla tasolla Kiinassa ja jopa world.VeTek Semiconductor odottaa innolla läheisen yhteistyösuhteen luomista kanssasi puolijohdeteollisuudessa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor CVD SiC -pinnoitelevy Epi-suskeptori on välttämätön komponentti piikarbidin epitaksikasvussa, ja se tarjoaa erinomaisen lämmönhallinnan, kemiallisen kestävyyden ja mittavakauden. Valitsemalla VeTek Semiconductorin CVD SiC -pinnoitekiekon Epi-suskeptorin parannat MOCVD-prosessiesi suorituskykyä, mikä johtaa korkealaatuisiin tuotteisiin ja parempaan tehokkuuteen puolijohteiden valmistustoiminnassa. Tervetuloa lisätiedusteluihin.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor CVD SiC -pinnoitettu grafiittisuskeptori on yksi puolijohdeteollisuuden tärkeimmistä komponenteista, kuten epitaksiaalisesta kasvusta ja kiekkojen käsittelystä. Sitä käytetään MOCVD:ssä ja muissa laitteissa tukemaan kiekkojen ja muiden erittäin tarkkojen materiaalien käsittelyä ja käsittelyä. VeTek Semiconductorilla on Kiinan johtava piikarbidilla päällystetyn grafiittisuskeptorin ja TaC-päällystetyn grafiittisuskeptorin tuotanto- ja valmistuskapasiteetti, ja se odottaa konsultaatiotasi.
Lue lisääLähetä kysely