Hapetus- ja diffuusiouuneja käytetään eri aloilla, kuten puolijohdelaiteissa, erillislaitteissa, optoelektronisissa laitteissa, tehoelektroniikkalaitteissa, aurinkokennoissa ja laajamittaisessa integroitujen piirien valmistuksessa. Niitä käytetään prosesseissa, mukaan lukien kiekkojen diffuusio, hapetus, hehkutus, seostus ja sintraus.
VeTek Semiconductor on johtava valmistaja, joka on erikoistunut erittäin puhtaiden grafiitti-, piikarbidi- ja kvartsikomponenttien valmistukseen hapetus- ja diffuusiouuneissa. Olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia uunikomponentteja puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle, ja olemme pintapinnoitustekniikan, kuten CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon jne., eturintamassa.
Korkean lämpötilan kesto (jopa 1600 ℃)
Erinomainen lämmönjohtavuus ja lämmönkestävyys
Hyvä kemiallinen korroosionkestävyys
Alhainen lämpölaajenemiskerroin
Korkea lujuus ja kovuus
Pitkä käyttöikä
Hapetus- ja diffuusiouuneissa korkean lämpötilan ja syövyttävien kaasujen vuoksi monet komponentit vaativat korkean lämpötilan ja korroosionkestävien materiaalien käyttöä, joista piikarbidi (SiC) on yleisesti käytetty valinta. Seuraavat ovat yleisiä piikarbidikomponentteja, joita löytyy hapetusuuneista ja diffuusiouuneista:
Vohveli vene
Piikarbidikiekkovene on piikiekkojen kuljettamiseen käytetty säiliö, joka kestää korkeita lämpötiloja eikä reagoi piikiekkojen kanssa.
Uunin putki
Uunin putki on diffuusiouunin ydinkomponentti, jota käytetään piikiekkojen sijoittamiseen ja reaktioympäristön ohjaamiseen. Piikarbidiuuniputkilla on erinomainen korkean lämpötilan ja korroosionkestävyys.
Välilevy
Käytetään säätelemään ilmavirran ja lämpötilan jakautumista uunin sisällä
Lämpöparin suojaputki
Käytetään suojaamaan lämpötilan mittaustermopareja suoralta kosketukselta syövyttävien kaasujen kanssa.
Ulokeinen mela
Piikarbidista valmistetut ulokesiivekkeet kestävät korkeita lämpötiloja ja korroosiota, ja niitä käytetään siirtämään piikiekkoja kuljettavia piiveneitä tai kvartsiveneitä diffuusiouunin putkiin.
Kaasun ruiskutin
Käytetään syöttämään reaktiokaasua uuniin, sen on kestettävä korkeita lämpötiloja ja korroosiota.
Veneen kuljettaja
Piikarbidikiekkojen venetelinettä käytetään piikiekkojen kiinnittämiseen ja tukemiseen, joilla on etuja, kuten korkea lujuus, korroosionkestävyys ja hyvä rakenteellinen vakaus.
Uunin ovi
Uunin oven sisäpuolella voidaan käyttää myös piikarbidipinnoitteita tai -komponentteja.
Lämmityselementti
Piikarbidilämmityselementit sopivat korkeisiin lämpötiloihin, suureen tehoon ja voivat nopeasti nostaa lämpötilat yli 1000 ℃.
SiC Liner
Uunin putkien sisäseinän suojaamiseen käytettynä se voi auttaa vähentämään lämpöenergian hukkaa ja kestämään ankaria ympäristöjä, kuten korkeaa lämpötilaa ja korkeaa painetta.
Suurena tehtaana ja SiC Ceramic Seal Ring -tuotteiden toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductor SiC Ceramic Seal Ring -renkaalla on laaja valikoima sovelluksia teollisuudessa erinomaisen lämmönjohtavuutensa, erinomaisen kemikaalien ja korroosionkestävyyden sekä korkean lujuuden ja korroosionkestävyyden ansiosta. jäykkyys. Tervetuloa lisätiedusteluihin.
Lue lisääLähetä kyselyJohtavana diffuusiouunilaitteiden valmistajana ja toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductor SiC Diffusion Furnace Furnace Tube -putkella on merkittävästi korkea taivutuslujuus, erinomainen hapettumisenkestävyys, korroosionkestävyys, korkea kulutuskestävyys ja erinomaiset mekaaniset ominaisuudet korkeissa lämpötiloissa. Tekemällä siitä välttämättömän laitemateriaalin diffuusiouunisovelluksissa. VeTek Semiconductor on sitoutunut valmistamaan ja toimittamaan korkealaatuista SiC-diffuusiouuniputkea ja toivottaa lisätiedustelut tervetulleiksi.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor tarjoaa räätälöidyn korkean puhtauden SiC-kiekkovenetelineen. Valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidista, ja siinä on aukot, jotka pitävät kiekon paikallaan, estäen sitä liukumasta käsittelyn aikana. CVD SiC -pinnoite on myös saatavilla tarvittaessa. Ammattimaisena ja vahvana puolijohteiden valmistajana ja toimittajana VeTek Semiconductorin korkean puhtauden SiC-kiekkojen veneteline on hintakilpailukykyinen ja korkea laatu. VeTek Semiconductor odottaa innolla olevansa pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava korkean puhtauden SiC-ulokepaddlen valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Korkean puhtauden SiC-ulokesiipiä käytetään yleisesti puolijohdediffuusiouuneissa kiekkojen siirto- tai latausalustoina. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena pystysuoran pylväskiekkoveneen ja -jalustan valmistajana ja toimittajana Kiinassa Vetek Semiconductorin pystypylväinen kiekkovene ja jalusta on valmistettu erittäin puhtaista kvartsi- tai piihiilikeraamisista (SiC) materiaaleista, joilla on erinomainen korkean lämpötilan kestävyys, kemiallinen stabiilisuus ja mekaaninen lujuus. , ja se on välttämätön ydinkomponentti puolijohteiden valmistusprosessissa. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kyselyVetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat on edistyksellinen laite puolijohteiden käsittelyyn. Contiguous Wafer Boatin tuoterakenne on suunniteltu huolellisesti varmistamaan tarkkuuskiekkojen tehokas käsittely ja tuotanto. Vetek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan erinomaisia teknologia- ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely