VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.
Päätuotteita ovatTantaalikarbidilla päällystetty vikarengas, TaC-pinnoitettu kiertorengas, TaC-päällystetyt puolikuuosat, tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy (Aixtron G10), TaC-pinnoitettu upokas; TaC päällystetyt renkaat; TaC-pinnoitettu huokoinen grafiitti; Tantaalikarbidipinnoite Grafiittisuskeptori; TaC-pinnoitettu ohjausrengas; TaC Tantaalikarbidilla päällystetty levy; TaC-pinnoitettu kiekko-suskeptori; TaC pinnoite rengas; TaC Coating Grafiitti Cover; TaC-pinnoitettu palajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.
TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:
Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.
●Lämpötilan vakaus
●Ultra korkea puhtaus
●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle
●Kestää lämpövarastoa
●Vahva tarttuvuus grafiittiin
●Muodollinen pinnoitteen peitto
● Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)
● Induktiivinen lämmitysvaskeptori
● Resistiivinen lämmityselementti
● Lämpösuoja
TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet | |
Tiheys | 14,3 (g/cm³) |
Ominaisemissiokyky | 0.3 |
Lämpölaajenemiskerroin | 6.3 10-6/K |
Kovuus (HK) | 2000 HK |
Resistanssi | 1×10-5Ohmi*cm |
Lämpöstabiilisuus | <2500 ℃ |
Grafiitin koko muuttuu | -10-20um |
Pinnoitteen paksuus | ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
Elementti | Atomiprosentti | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskimäärin | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductorin CVD TaC -pinnoite on erittäin erikoistunut komponentti, joka on suunniteltu erityisesti vaativiin sovelluksiin. Edistyneillä ominaisuuksilla ja poikkeuksellisella suorituskyvyllämme CVD TaC -pinnoitekannellamme on useita keskeisiä etuja. CVD TaC -pinnoitussuojuksemme tarjoaa menestykseen tarvittavan suojan ja suorituskyvyn. Odotamme innolla, että pääsemme tutkimaan mahdollista yhteistyötä kanssasi!
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor on poikkeuksellinen tuote Aixtron-epitaksilaitteille. Vankka TaC-pinnoite tarjoaa erinomaisen korkeiden lämpötilojen kestävyyden ja kemiallisen inerttiyden. Tämä ainutlaatuinen yhdistelmä takaa luotettavan suorituskyvyn ja pitkän käyttöiän vaativissakin olosuhteissa. VeTek on sitoutunut tarjoamaan korkealaatuisia tuotteita ja toimimaan pitkän aikavälin kumppanina Kiinan markkinoilla kilpailukykyisin hinnoin.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin TaC Coating Jalustan tukilevy on erittäin tarkka tuote, joka on suunniteltu täyttämään puolijohteiden epitaksiprosessien erityisvaatimukset. TaC-pinnoitteensa, korkean lämpötilan kestävyytensä ja kemiallisen inertiteettinsä ansiosta tuotteemme antavat sinulle mahdollisuuden tuottaa korkealaatuisia korkealaatuisia EPI-kerroksia. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin TaC Coating Chuckissa on korkealaatuinen TaC-pinnoite, joka tunnetaan erinomaisesta korkeiden lämpötilojen kestävyydestään ja kemiallisesta inertsistään, erityisesti piikarbidin (SiC) epitaksiprosesseissa (EPI). Poikkeuksellisten ominaisuuksiensa ja erinomaisen suorituskyvyn ansiosta TaC Coating Chuck tarjoaa useita keskeisiä etuja. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin CVD TaC Coating Ring on erittäin edullinen komponentti, joka on suunniteltu täyttämään piikarbidin (SiC) kiteiden kasvatusprosessien vaativat vaatimukset. CVD TaC -pinnoiterengas tarjoaa erinomaisen korkeiden lämpötilojen kestävyyden ja kemiallisen inertin, mikä tekee siitä ihanteellisen valinnan ympäristöihin, joille ovat ominaisia korkeat lämpötilat ja syövyttävät olosuhteet. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin LPE SiC Epi Halfmoon, vallankumouksellinen tuote, joka on suunniteltu nostamaan LPE-reaktorin SiC-epitaksiprosesseja. Tässä huippuluokan ratkaisussa on useita keskeisiä ominaisuuksia, jotka takaavat erinomaisen suorituskyvyn ja tehokkuuden koko tuotantotoiminnassasi. Odotan innolla pitkäaikaista yhteistyötä kanssasi.
Lue lisääLähetä kysely