VeTek Semiconductorin ainutlaatuiset karbidipinnoitteet tarjoavat erinomaisen suojan grafiittiosille SiC Epitaxy Process -prosessissa vaativien puolijohde- ja komposiittipuolijohdemateriaalien käsittelyyn. Tuloksena on pidennetty grafiittikomponenttien käyttöikä, säilynyt reaktion stoikiometria, estetty epäpuhtauksien kulkeutumista epitaksi- ja kiteenkasvatussovelluksiin, mikä parantaa saantoa ja laatua.
Tantaalikarbidipinnoitteemme (TaC) suojaavat kriittisiä uunin ja reaktorin komponentteja korkeissa lämpötiloissa (jopa 2200°C) kuumalta ammoniakilta, vedystä, piihöyryiltä ja sulailta metalleilta. VeTek Semiconductorilla on laaja valikoima grafiitin käsittely- ja mittausominaisuuksia räätälöityjen vaatimusten täyttämiseksi, joten voimme tarjota maksullisen pinnoitteen tai täyden palvelun asiantuntijatiimimme kanssa, joka on valmis suunnittelemaan oikean ratkaisun sinulle ja sinun sovelluksellesi .
Yhdistetyt puolijohdekiteet
VeTek Semiconductor voi tarjota erityisiä TaC-pinnoitteita erilaisille komponenteille ja kantajille. VeTek Semiconductorin alan johtavan pinnoitusprosessin avulla TaC-pinnoite voi saavuttaa korkean puhtauden, korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korkean kemiallisen kestävyyden, mikä parantaa kide-TaC/GaN)- ja EPl-kerrosten tuotteiden laatua ja pidentää kriittisten reaktorin komponenttien käyttöikää.
Lämmöneristimet
SiC-, GaN- ja AlN-kiteiden kasvatuskomponentit, mukaan lukien upokkaat, siemenpidikkeet, ohjaimet ja suodattimet. Teollisuuskokoonpanot, mukaan lukien resistiiviset lämmityselementit, suuttimet, suojarenkaat ja juotoskiinnikkeet, GaN- ja SiC-epitaksiaaliset CVD-reaktorin komponentit, mukaan lukien kiekkotelineet, satelliittialustat, suihkupäät, korkit ja jalustat, MOCVD-komponentit.
LED (Light Emitting Diode) kiekkoteline
ALD (Semiconductor) -vastaanotin
EPI-reseptori (SiC Epitaxy Process)
TaC-pinnoitettu satelliittisuskeptori TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating osat Halfmoon osat TaC-pinnoitteella
SiC | TaC | |
Pääpiirteet | Erittäin puhdas, erinomainen plasmankestävyys | Erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius (korkean lämpötilan prosessinmukaisuus) |
Puhtaus | >99,9999 % | >99,9999 % |
Tiheys (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Kovuus (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Resistanssi [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Lämmönjohtavuus (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Lämpölaajenemiskerroin (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Sovellus | Puolijohdelaitteet Keraaminen jigi (tarkennusrengas, suihkupää, nukkekiekko) | SiC Yksikidekasvatus, Epi, UV-LED-laitteiden osat |
VeTek Semiconductor on ammattimainen huokoisten tantaalikarbidituotteiden valmistaja ja johtaja Kiinassa. Huokoinen tantaalikarbidi valmistetaan yleensä kemiallisella höyrypinnoitusmenetelmällä (CVD), mikä varmistaa sen huokoskoon ja jakautumisen tarkan hallinnan, ja se on materiaalityökalu, joka on tarkoitettu korkeiden lämpötilojen äärimmäisiin ympäristöihin. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kyselyEdistyksellisenä tantaalikarbidirengastuotteiden valmistajana ja tuottajana Kiinassa VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Ringillä on erittäin korkea kovuus, kulutuskestävyys, korkean lämpötilan kestävyys ja kemiallinen stabiilisuus, ja sitä käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksessa. Erityisesti CVD:ssä, PVD:ssä, ioni-istutusprosessissa, etsausprosessissa sekä kiekkojen käsittelyssä ja kuljetuksessa se on välttämätön tuote puolijohteiden käsittelyssä ja valmistuksessa. Odotan innolla lisäkonsultaatiotasi.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena tantaalikarbidin pinnoitetukituotteiden valmistajana ja tehtaana Kiinassa VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support -tukea käytetään yleensä puolijohdelaitteiden rakenneosien tai tukikomponenttien pintapinnoitukseen, erityisesti puolijohteiden valmistusprosessien tärkeimpien laitekomponenttien pinnan suojaamiseen, kuten esim. CVD ja PVD. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen tantaalikarbidiohjainrenkaiden valmistaja ja johtaja Kiinassa. Tantaalikarbidi (TaC) -ohjainrenkaamme on korkean suorituskyvyn tantaalikarbidista valmistettu rengaskomponentti, jota käytetään yleisesti puolijohteiden käsittelylaitteissa, erityisesti korkeissa lämpötiloissa ja erittäin syövyttävissä ympäristöissä, kuten CVD, PVD, syövytys ja diffuusio. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle, ja on tyytyväinen lisätiedusteluihin.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena valmistajana, innovaattorina ja TaC Coating Rotation Susceptor -tuotteiden johtajana Kiinassa. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor asennetaan yleensä kemialliseen höyrypinnoitus (CVD) ja molekyylisuihkuepitaksi (MBE) -laitteisiin tukemaan ja pyörittämään kiekkoja tasaisen materiaalin kerrostumisen ja tehokkaan reaktion varmistamiseksi. Se on avainkomponentti puolijohdekäsittelyssä. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen CVD TaC Coating Crucible -tuotteiden valmistaja ja johtaja Kiinassa. CVD TaC Coating Crucible perustuu tantaalihiilipinnoitteeseen (TaC). Tantaalihiilipinnoite peitetään tasaisesti upokkaan pinnalla kemiallisen höyrypinnoitusprosessin (CVD) avulla parantaakseen sen lämmönkestävyyttä ja korroosionkestävyyttä. Se on materiaalityökalu, jota käytetään erityisesti korkeissa lämpötiloissa äärimmäisissä ympäristöissä. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kysely