VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.
Päätuotteita ovatTantaalikarbidilla päällystetty vikarengas, TaC-pinnoitettu kiertorengas, TaC-päällystetyt puolikuuosat, tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy (Aixtron G10), TaC-pinnoitettu upokas; TaC päällystetyt renkaat; TaC-pinnoitettu huokoinen grafiitti; Tantaalikarbidipinnoite Grafiittisuskeptori; TaC-pinnoitettu ohjausrengas; TaC Tantaalikarbidilla päällystetty levy; TaC-pinnoitettu kiekko-suskeptori; TaC pinnoite rengas; TaC Coating Grafiitti kansi; TaC-pinnoitettu palajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.
TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:
Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.
Lämpötilan vakaus
Ultra korkea puhtaus
Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle
Kestää lämpövarastoa
Vahva tarttuvuus grafiittiin
Muodollinen pinnoitteen peitto
Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)
Kiekon kantaja
Induktiivinen lämmityssuskeptori
Resistiivinen lämmityselementti
Satelliittilevy
Suihkupää
Ohjausrengas
LED Epi vastaanotin
Ruiskutussuutin
Peiterengas
Lämpösuoja
TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet | |
Tiheys | 14,3 (g/cm³) |
Ominaisemissiokyky | 0.3 |
Lämpölaajenemiskerroin | 6.3 10-6/K |
Kovuus (HK) | 2000 HK |
Resistanssi | 1×10-5Ohmi*cm |
Lämpöstabiilisuus | <2500 ℃ |
Grafiitin koko muuttuu | -10-20um |
Pinnoitteen paksuus | ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
Elementti | Atomiprosentti | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskimäärin | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor on ammattimainen CVD TaC Coating Crucible -tuotteiden valmistaja ja johtaja Kiinassa. CVD TaC Coating Crucible perustuu tantaalihiilipinnoitteeseen (TaC). Tantaalihiilipinnoite peitetään tasaisesti upokkaan pinnalla kemiallisen höyrypinnoitusprosessin (CVD) avulla parantaakseen sen lämmönkestävyyttä ja korroosionkestävyyttä. Se on materiaalityökalu, jota käytetään erityisesti korkeissa lämpötiloissa äärimmäisissä ympäristöissä. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier on ammattimainen CVD TaC Coating Wafer Carrier -tuotevalmistaja ja -tehdas Kiinassa. Tällä tuotteella on korkea mekaaninen lujuus, erinomainen korroosionkestävyys ja lämpöstabiilisuus, mikä antaa tarvittavan takuun korkealaatuisten puolijohdelaitteiden valmistukseen. Lisätietosi ovat tervetulleita.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava TaC Coating Heaterin valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Tällä tuotteella on erittäin korkea sulamispiste (noin 3880 °C). TaC Coating Heaterin korkea sulamispiste mahdollistaa sen toiminnan erittäin korkeissa lämpötiloissa, erityisesti galliumnitridi (GaN) epitaksiaalisten kerrosten kasvaessa metallin orgaanisen kemiallisen höyrypinnoitusprosessissa (MOCVD). VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena TaC Coated Chuckin valmistajana ja toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductorin TaC Coating Chuck on suunniteltu erityisesti puolijohdeuuneihin. Vetek Semiconductorin innovatiivinen teknologia tarjoaa korkean lämpötilan kestävyyden, kemiallisen inerttiyden ja erinomaisen suorituskyvyn ansiosta luotettavan ratkaisun puolijohdeteollisuudelle korkealaatuisten tuotantostandardien varmistamiseksi. Uskomme, että tuotteemme voivat tuoda sinulle kehittynyttä teknologiaa ja korkealaatuisia tuoteratkaisuja.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena TaC-pinnoiteputkien valmistajana ja toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductorin TaC-pinnoiteputki on avainkomponentti piikarbidin yksikiteiden menestyksekkäässä kasvussa. Korkean lämpötilan kestävyyden, kemiallisen inertin ja erinomaisen suorituskyvyn ansiosta se varmistaa korkealaatuisten kiteiden tuotannon tasaisin tuloksin. Luota innovatiivisiin ratkaisuihimme parantaaksesi PVT-menetelmälläsi piikarbidikiteiden kasvuprosessia ja saavuttaaksesi erinomaisia tuloksia. Tervetuloa tiedustelemaan meitä.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava CVD TAC -pinnoitteen valmistaja, innovaattori ja johtaja Kiinassa. Olemme useiden vuosien ajan keskittyneet erilaisiin CVD TAC Coating -tuotteisiin, kuten CVD TaC -pinnoituskanteen, CVD TaC -pinnoitusrenkaaseen, CVD TaC -pinnoitteen alustaan jne. VeTek Semiconductor tukee räätälöityjä tuotepalveluita ja tyydyttäviä tuotehintoja ja odottaa innolla jatkoa. konsultointi.
Lue lisääLähetä kysely