VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.
Päätuotteita ovatTantaalikarbidilla päällystetty vikarengas, TaC-pinnoitettu kiertorengas, TaC-päällystetyt puolikuuosat, tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy (Aixtron G10), TaC-pinnoitettu upokas; TaC päällystetyt renkaat; TaC-pinnoitettu huokoinen grafiitti; Tantaalikarbidipinnoite Grafiittisuskeptori; TaC-pinnoitettu ohjausrengas; TaC Tantaalikarbidilla päällystetty levy; TaC-pinnoitettu kiekko-suskeptori; TaC pinnoite rengas; TaC Coating Grafiitti kansi; TaC-pinnoitettu palajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.
TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:
Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.
Lämpötilan vakaus
Ultra korkea puhtaus
Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle
Kestää lämpövarastoa
Vahva tarttuvuus grafiittiin
Muodollinen pinnoitteen peitto
Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)
Kiekon kantaja
Induktiivinen lämmityssuskeptori
Resistiivinen lämmityselementti
Satelliittilevy
Suihkupää
Ohjausrengas
LED Epi vastaanotin
Ruiskutussuutin
Peiterengas
Lämpösuoja
TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet | |
Tiheys | 14,3 (g/cm³) |
Ominaisemissiokyky | 0.3 |
Lämpölaajenemiskerroin | 6.3 10-6/K |
Kovuus (HK) | 2000 HK |
Resistanssi | 1×10-5Ohmi*cm |
Lämpöstabiilisuus | <2500 ℃ |
Grafiitin koko muuttuu | -10-20um |
Pinnoitteen paksuus | ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
Elementti | Atomiprosentti | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Keskimäärin | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidilla päällystetty putki kristallin kasvulle valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet keraamiseen pinnoitteeseen useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus ja korkea lämpötilankesto. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on laajamittainen TaC-pinnoitettu rengas SiC-epitaksiaalisten reaktorien valmistajalle ja innovaattorille Kiinassa. Olemme erikoistuneet TaC-pinnoittamiseen useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus, korkea stabiilisuus, erinomainen korroosionkestävyys ja sidoslujuus. Tulet pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on laajamittainen tantaalikarbidilla päällystetty Halfmoon Part LPE-valmistajalle ja -kehittäjälle Kiinassa.Olemme erikoistuneet TaC-pinnoitteisiin useiden vuosien ajan. Tuotteemme kestävät yli 2000 celsiusasteen lämpötiloja, pidentävät kulutustarvikkeiden käyttöikää. Odotamme innolla. tulla pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava TaC Coated Guide Ring -valmistaja ja -innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet keraamiseen pinnoitukseen useiden vuosien ajan. TaC Coated Guide Ring -renkaita käytetään ensisijaisesti ohjaamaan ja säätämään ilmavirtaa, mikä lisää yksikiteiden kasvua. Tervetuloa tiedustelemaan meiltä lisätietoja.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidilla päällystettyjen planeettapyörivien levyjen valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet keraamiseen pinnoitukseen useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus ja korkea lämpötilankesto. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäaikainen kumppanisi Kiina.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava TaC-pinnoitettujen grafiittikiekkokiekkojen valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet SiC- ja TaC-pinnoitteisiin useiden vuosien ajan. TaC-pinnoitetuilla grafiittikiekkojen alustallamme on korkeampi lämmönkestävyys ja kulutusta kestävä. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely