Kiina Kiinteä piikarbidi Valmistaja, toimittaja, tehdas

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide on tärkeä keraaminen komponentti plasmaetsauslaitteissa, kiinteä piikarbidi (CVD piikarbidi) syövytyslaitteiston osat sisältävättarkennusrenkaat, kaasusuihkupää, tarjotin, reunarenkaat jne. Kiinteän piikarbidin (CVD-piikarbidin) alhaisen reaktiivisuuden ja johtavuuden vuoksi klooria ja fluoria sisältäviin syövytyskaasuihin, se on ihanteellinen materiaali plasmaetsauslaitteiden tarkennusrenkaisiin ja muihin komponentit.

Esimerkiksi tarkennusrengas on tärkeä osa, joka on sijoitettu kiekon ulkopuolelle ja suoraan kosketukseen kiekon kanssa, koska se kohdistaa renkaaseen jännitettä renkaan läpi kulkevan plasman fokusoimiseksi, jolloin plasma fokusoidaan kiekolle, mikä parantaa kiekon tasaisuutta. käsittelyä. Perinteinen tarkennusrengas on valmistettu silikonista taikvartsi, johtavana piin yleisenä tarkennusrengasmateriaalina, se on lähes lähellä piikiekkojen johtavuutta, mutta puute on huono etsauskestävyys fluoria sisältävässä plasmassa, syövytyskoneen osien materiaalit, joita käytetään usein jonkin aikaa, tulee olemaan vakavia korroosioilmiö, mikä heikentää vakavasti sen tuotantotehokkuutta.

Soli SiC Focus RingToimintaperiaate：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Ja-pohjaisen tarkennusrenkaan ja CVD SiC -tarkennusrenkaan vertailu:

Comparison of Si Based Focusing Ring and CVD SiC Focusing Ring
Tuote	Ja	CVD SiC
Tiheys (g/cm³)	2.33	3.21
Kaistaväli (eV)	1.12	2.3
Lämmönjohtavuus (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Kimmomoduuli (GPa)	150	440
Kovuus (GPa)	11.4	24.5
Kulutus- ja korroosionkestävyys	Huono	Erinomainen

VeTek Semiconductor tarjoaa kehittyneitä kiinteän piikarbidin (CVD piikarbidin) osia, kuten piikarbidin tarkennusrenkaita puolijohdelaitteisiin. Kiinteän piikarbidin tarkennusrenkaamme ylittävät perinteisen piin mekaanisen lujuuden, kemiallisen kestävyyden, lämmönjohtavuuden, korkeiden lämpötilojen kestävyyden ja ionisyövytyksen kestävyyden suhteen.

JaC-tarkennusrenkaidemme tärkeimpiä ominaisuuksia ovat mm:

Suuri tiheys vähentää etsausnopeuksia.

Erinomainen eristys korkealla nauhavälillä.

Korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin.

Ylivoimainen mekaaninen iskunkestävyys ja elastisuus.

Korkea kovuus, kulutuskestävyys ja korroosionkestävyys.

Valmistettu käyttäenplasmalla tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD)JaC-tarkennusrenkaamme vastaavat puolijohteiden valmistuksen etsausprosessien kasvaviin vaatimuksiin. Ne on suunniteltu kestämään korkeampaa plasmatehoa ja -energiaa, erityisesti sisäänKapasitiivisesti kytketty plasma (CCP)järjestelmät.

VeTek Semiconductorin SiC-tarkennusrenkaat tarjoavat poikkeuksellisen suorituskyvyn ja luotettavuuden puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Valitse SiC-komponenttimme ylivertaisen laadun ja tehokkuuden saavuttamiseksi.

View as

Suihkupää piikarbidista

VeTek Semiconductor on johtava piikarbidi-suihkupäätuotteiden valmistaja ja toimittaja Kiinassa. SiC-suihkupäällä on erinomainen korkean lämpötilan sietokyky, kemiallinen stabiilius, lämmönjohtavuus ja hyvä kaasunjakelukyky, mikä voi saavuttaa tasaisen kaasun jakautumisen ja parantaa kalvon laatua. Siksi sitä käytetään yleensä korkean lämpötilan prosesseissa, kuten kemiallisessa höyrypinnoitusprosesseissa (CVD) tai fysikaalisessa höyrypinnoitusprosesseissa (PVD). Tervetuloa jatkoneuvotteluun.

Lue lisää Lähetä kysely

Piikarbiditiivisterengas

Ammattimaisena piikarbiditiivisterenkaan valmistajana ja tehtaana Kiinassa VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring -rengasta käytetään laajalti puolijohteiden käsittelylaitteissa erinomaisen lämmönkestävyyden, korroosionkestävyyden, mekaanisen lujuuden ja lämmönjohtavuuden ansiosta. Se soveltuu erityisen hyvin prosesseihin, joissa käytetään korkeita lämpötiloja ja reaktiivisia kaasuja, kuten CVD, PVD ja plasmaetsaus, ja se on keskeinen materiaalivalinta puolijohteiden valmistusprosessissa. Lisätietosi ovat tervetulleita.

Lue lisää Lähetä kysely

CVD SiC Block piikarbidikiteiden kasvattamiseen

VeTek Semiconductor keskittyy CVD-SiC-bulkkilähteiden, CVD SiC -pinnoitteiden ja CVD TaC -pinnoitteiden tutkimukseen ja kehittämiseen sekä teollistukseen. Esimerkkinä CVD SiC -lohko SiC Crystal Growthille, tuotteen käsittelytekniikka on edistynyt, kasvunopeus on nopea, korkeiden lämpötilojen kestävyys ja korroosionkestävyys ovat vahvat. Tervetuloa tiedustelemaan.

Lue lisää Lähetä kysely

SiC Crystal Growth Uusi teknologia

Vetek Semiconductorin erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka muodostuu kemiallisesta höyrypinnoituksesta (CVD), voidaan käyttää lähdemateriaalina piikarbidikiteiden kasvattamiseen fyysisellä höyrykuljetuksella (PVT). SiC Crystal Growth New Technologyssa lähdemateriaali ladataan upokkaaseen ja sublimoidaan siemenkiteelle. Käytä hylättyjä CVD-SiC-lohkoja materiaalin kierrättämiseen piikarbidikiteiden kasvattamisen lähteenä. Tervetuloa perustamaan kumppanuussuhdetta kanssamme.

Lue lisää Lähetä kysely

CVD SiC suihkupää

VeTek Semiconductor on johtava CVD SiC suihkupään valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet piikarbidimateriaaliin useiden vuosien ajan. CVD SiC Shower Head on valittu fokusointirengasmateriaaliksi sen erinomaisen lämpökemiallisen stabiiliuden, korkean mekaanisen lujuuden ja kestävyyden vuoksi. plasmaeroosiota. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäksi aikaa kumppaniksesi Kiinassa.

Lue lisää Lähetä kysely

SiC suihkupää

VeTek Semiconductor on johtava piikarbidi-suihkupään valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet piikarbidimateriaaliin useiden vuosien ajan. SiC-suihkupää on valittu fokusointirengasmateriaaliksi sen erinomaisen lämpökemiallisen stabiiliuden, korkean mekaanisen lujuuden ja plasmaeroosionkestävyyden vuoksi. .Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lue lisää Lähetä kysely

<1 2 >

Ammattimaisena Kiinteä piikarbidi-valmistajana ja -toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetpa räätälöityjä palveluita vastaamaan alueesi erityistarpeita tai haluat ostaa kehittyneitä ja kestäviä Kiinteä piikarbidi Kiinassa valmistettuja tuotteita, voit jättää meille viestin.