Kiinteä SiC Disc-muotoinen suihkupää

Kiinteän piikarbidin kiekon muotoisen suihkupään tehtävänä CVD-prosessissa on jakaa reaktiokaasu tasaisesti saostusalueen yläpuolelle, jotta kaasu voidaan levittää tasaisesti kaikkialle reaktoriin tasaisen ja tasaisen kalvon saamiseksi.

Kiinteä piikarbidi-suihkupää on asetettu CVD-uunin yläosaan tai lähelle kaasun sisääntuloa. Reaktiokaasu tulee kiekon muotoiseen rakenteeseen suihkupäässä olevien reikien kautta ja leviää ympäri suihkupään pintaa. Monikanavaisen suunnittelun ja tasaisesti jakautuneiden ulostulojen ansiosta reaktiokaasu voi virrata tasaisesti koko reaktorin alueelle välttäen keskittymistä tai turbulenssia ja varmistaen alustalle kerrostetun kerrospaksuuden johdonmukaisuuden.

Samaan aikaan Semiconductor Disc -muotoisen suihkupään rakenteella on myös diffuusiovaikutus, joka voi tehokkaasti vähentää kaasun virtausnopeutta, jotta se voidaan levittää tasaisesti suuttimen ulostulossa ja vähentää paikallisen kaasun vaikutusta. virtaus muuttuu laskeuman vaikutuksesta. Se auttaa välttämään suoran kaasun vaikutuksen alustaan ​​ja estämään epätasaisen kerrostumisen ongelman.

Materiaalien näkökulmasta Solid SiC -kaasusuihkupää on valmistettu korkeita lämpötiloja kestävästä, korroosionkestävästä ja erittäin lujasta Solid SiC -materiaalista, jolla on erittäin korkea stabiilisuus. Se voi toimia vakaasti pitkään CVD-uunissa ja sillä on pitkä käyttöikä.

VeTek puolijohdetarjoaa korkealaatuisia räätälöityjä palveluita. Solid SiC -levyn muotoisen suihkupään muotoa ja reikien asettelua voidaan säätää joustavasti asiakkaan prosessivaatimusten mukaan mukautumaan erilaisiin kaasutyyppeihin, virtausnopeuksiin ja saostusmateriaaleihin. Erikokoisia reaktoreita tai substraattikokoja varten voidaan räätälöidä levyn muotoisia suihkupäitä, joilla on eri halkaisijat ja reikien jakautuminen kaasunjakovaikutuksen optimoimiseksi.

VeTek Semiconductorilla on kehittyneitä prosesseja ja edistyksellisiä tekniikoita Solid SiC Semiconductor Shower Head -tuotteille, mikä auttaa monia asiakkaita saavuttamaan jatkuvaa edistystä CVD-prosesseissa. VeTek Semiconductor odottaa saavansa tulla pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Kiinteän piikarbidin fysikaaliset ominaisuudet

VeTek puolijohdeSolid SiC -levyn muotoiset suihkupään tuotantolaitokset