Keraaminen sähköstaattinen istukka

Puolijohteiden valmistusprosessit, erityisesti kiekkojen prosessointi, suoritetaan tyhjiöympäristössä ja mekaanisesti puristuvat kiekot kuljettavat 

tiettyjä riskejä. Kun voima keskittyy kiinnityskohtaan, hauraista piikiekoista voi irrota pieniä sirpaleita, mikä aiheuttaa vakavia vaurioita kiekkojen tuotannossa.

Tässä tapauksessa parempi valinta tulee keraamisesta sähköstaattisesta istukasta, joka kiinnittää kiekon sähköstaattisella voimalla. Sähköstaattinen voima vaikuttaa kiekkoon tasaisesti, joten kiekko voidaan kiinnittää tasaisesti, mikä parantaa prosessin tarkkuutta.

Asiaankuuluvien tutkimuspapereiden mukaan keraamisilla sähköstaattisilla istukkailla on voimakkaampi imu kuin muilla sähköstaattisilla istukkailla. Esimerkiksi keraamisessa sähköstaattisessa istukassa on paljon voimakkaampi imu kuin PET-kalvon sähköstaattisessa istukassa.

Keramiikkaistukka on yleensä valmistettu korkean suorituskyvyn keraamisista materiaaleista, kuten Al2O3, AlN tai SiC, joilla on korkea lämmönkestävyys, eristys ja korroosionkestävyys. Huokoinen piikarbidikeraaminen istukka ei ole vain vakaa äärimmäisissä lämpötiloissa, vaan se myös estää tehokkaasti keraamista E-istukkaa hajoamasta kemiallisten reagenssien ja plasmaetsauksen vuoksi valmistusprosessin aikana.

Lämpötilan säätö: Keraamisten materiaalien korkea lämmönjohtavuus ja vakaat lämpöominaisuudet mahdollistavat Alumina Ceramic Vacuum Chuckin tehokkaan lämpötilan säätelyn, mikä optimoi lämpötilan jakautumisen prosessin aikana.

Tyhjiön mukautuvuus: Keraaminen sähköstaattinen istukka soveltuu tyhjiöympäristöihin, erityisesti matalapaineisiin ja erittäin tarkkoihin etsausprosesseihin.

Alhainen hiukkastuotanto: Huokoisessa piikarbidikeraamisessa E-istukkassa on sileä pinta, joka voi vähentää hiukkasten kontaminaatiota kiekkojen kiinnityksen aikana ja parantaa tuotteen tuottoa.

Sovellus: Käytetään pääasiassa puolijohteiden valmistuksessa, irrotettava keraaminen sähköstaattinen istukka, joka tarjoaa tarkan paikantamisen ja vakauden, mikä on erittäin hyödyllistä litografiassa, etsauksessa ja muissa puolijohdekiekkojen valmistusprosesseissa. Varmista, että kiekko on ehjä käsittelyn aikana ja paranna lastutuotannon laatua.

VeTek puolijohdeKeraamisen E-istukan tuotantolaitokset: