Kiinteä piikarbidi syövytetty tarkennusrengas

Voit olla varma, että ostat Solid SiC Etching Focusing Ring -renkaan tehtaaltamme. VeTek Semiconductorin vallankumouksellinen teknologia mahdollistaa Solid SiC Etching Focusing Ring -renkaan, erittäin puhtaan piikarbidimateriaalin, joka on luotu kemiallisen höyrypinnoitusprosessin avulla.

Kiinteän piikarbidin etsauksen tarkennusrengasta käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti plasmaetsausjärjestelmissä. Kiinteä piikarbidin etsauksen tarkennusrengas on tärkeä komponentti, joka auttaa saavuttamaan piikarbidikiekkojen tarkan ja kontrolloidun etsauksen.

Plasmasyövytysprosessin aikana tarkennusrenkaalla on useita tehtäviä:

1. Plasman fokusointi: Kiinteän piikarbidin etsauksen tarkennusrengas auttaa muotoilemaan ja keskittämään plasmaa kiekon ympärille varmistaen, että etsausprosessi tapahtuu tasaisesti ja tehokkaasti. Se auttaa rajoittamaan plasman halutulle alueelle, estäen hajaetsauksen tai ympäröivien alueiden vaurioitumisen.

2. Kammion seinien suojaaminen: Tarkennusrengas toimii esteenä plasman ja kammion seinien välillä ja estää suoran kosketuksen ja mahdolliset vauriot. SiC on erittäin kestävä plasmaeroosiota vastaan ​​ja tarjoaa erinomaisen suojan kammion seinille.

3. Lämpötilan säätö: Tarkennusrengas auttaa säilyttämään tasaisen lämpötilan jakautumisen kiekon poikki etsausprosessin aikana. Se auttaa haihduttamaan lämpöä ja ehkäisee paikallista ylikuumenemista tai lämpögradientteja, jotka voivat vaikuttaa syövytyksen tuloksiin.

Kiinteä piikarbidi on valittu fokusointirenkaisiin sen erinomaisen lämpö- ja kemiallisen stabiiliuden, korkean mekaanisen lujuuden ja plasmaeroosionkestävyyden vuoksi. Nämä ominaisuudet tekevät piikarbidista sopivan materiaalin ankariin ja vaativiin olosuhteisiin plasmaetsausjärjestelmissä.

On syytä huomata, että tarkennusrenkaiden suunnittelu ja tekniset tiedot voivat vaihdella tietyn plasmaetsausjärjestelmän ja prosessivaatimusten mukaan. VeTek Semiconductor optimoi tarkennusrenkaiden muodon, mitat ja pintaominaisuudet varmistaakseen optimaalisen etsauksen suorituskyvyn ja pitkän käyttöiän. Kiinteää piikarbidia käytetään laajalti kiekkojen kannattimissa, suskeptoreissa, valekiekoissa, ohjausrenkaissa, syövytysprosessin osissa, CVD-prosessissa jne.

Kiinteän piikarbidin etsauksen tarkennusrenkaan tuoteparametri

VeTek Semiconductor Production Shop