Grafiitti pyörivä vastaanotin

Erittäin puhdasta grafiittia pyörivällä suskeptorilla on tärkeä rooli galliumnitridin epitaksiaalisessa kasvussa (MOCVD-prosessi). VeTek Semiconductor on johtava grafiitti pyörivien suskeptorien valmistaja ja toimittaja Kiinassa. Olemme kehittäneet monia erittäin puhtaita grafiittituotteita, jotka perustuvat erittäin puhtaisiin grafiittimateriaaleihin ja jotka täyttävät täysin puolijohdeteollisuuden vaatimukset. VeTek Semiconductor odottaa innolla, että pääset kumppaniksesi pyörivässä grafiittisuskeptorissa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Schematic diagram of the working process of High purity graphite rotating susceptor

Erittäin puhdasta grafiittia pyöriviä suskeptoreita käytetään materiaalinkäsittelylaitteissa korkeissa lämpötiloissa ja tyhjiöissä. Galliumnitridin epitaksiaalisessa kasvussa (MOCVD-prosessi) niillä on tukeva rooli substraatin pyörimisessä. VeTekSemin pyörivällä grafiittisuskeptorilla on seuraavat edut:

● Korkea puhtaus: Erittäin puhtaiden grafiittien pyörivien suskeptoreiden epäpuhtauspitoisuus on alle 5 ppm. Tämän puhtaustason grafiitin avulla voidaan välttää epäpuhtauksien vapautuminen korkeissa lämpötiloissa, mikä varmistaa saostusprosessin puhtauden. Siksi pinnoitusta ei tarvita työvaatimusten täyttämiseksi.

Erittäin puhdasta grafiittia

● Erinomaiset lämpöominaisuudet: Erittäin puhtaalla grafiitilla on erinomainen lämmönjohtavuus, ja sen lämmönjohtavuus on paljon korkeampi kuin muilla materiaaleilla. Lämpölaajenemiskerroin on pieni ja voi säilyttää vakaan suorituskyvyn lämpötilanvaihteluissa.

● Hyvät mekaaniset ominaisuudet: Erittäin puhtaalla grafiitilla on hyvä kulutuskestävyys ja sitkeys, mikä voi täyttää CVD-prosessin monimutkaiset vaatimukset.

● Erinomainen johtavuus: Johtavuus on sata kertaa suurempi kuin ei-metallisten mineraalien johtavuus.

● Kemiallinen stabiilisuus: Se kestää korroosiota hapoista, emäksistä ja orgaanisista liuottimista

Lisäksi VeTek Semiconductor on johtava korkean puhtauden grafiittipyörivien suskeptoreiden valmistaja ja toimittaja Kiinassa, ja se toimittaa myös korkealaatuisiaSiC-pinnoitettu grafiittisuskeptori MOCVD:lle, SiC päällystetty tynnyri suskeptori, TaC-pinnoitettu grafiittivastaanotinjaMOCVD SiC pinnoite suskeptori.VeTek puolijohdeon sitoutunut tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle ja tukee myös räätälöityjä palveluita. Odotamme vilpittömästi, että pääsemme pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

VeTek puolijohdeGrafiitti pyörivä susceptor -tuotekaupat:

Graphite Susceptor Vetek Semiconductor Graphite Rotating Susceptor test Semiconductor ceramics technology