VeTek Semiconductor on johtava Aixtron G5 MOCVD -suskeptorien valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet piikarbidipinnoitusmateriaaliin useiden vuosien ajan. Tarjoamme Aixtron G5 MOCVD -suskeptoreita, jotka on suunniteltu erityisesti Aixtron G5 MOCVD -reaktoriin. Tämä Aixtron G5 MOCVD Susceptors -sarja on monipuolinen ja tehokas ratkaisu puolijohteiden valmistukseen optimaalisen koon, yhteensopivuuden ja korkean tuottavuuden ansiosta. Tervetuloa tiedustelemaan meitä.
Ammattimaisena valmistajana VeTek Semiconductor haluaa tarjota sinulle Aixtron G5 MOCVD -suskeptoreita, kuten Axtron Epitaxy, vastaanotinSiC päällystettygrafiittiosat,TaC päällystettygrafiittiosat, kiinteä SiC/CVD SiC,Kvartsia osat.Tervetuloa tiedustelemaan meitä.
Aixtron G5 on yhdistepuolijohteiden pinnoitusjärjestelmä. AIX G5 MOCVD käyttää tuotantoasiakkaiden testaamaa AIXTRON-planeettareaktorialustaa, jossa on täysin automatisoitu patruuna (C2C) kiekkojen siirtojärjestelmä. Saavutettiin alan suurin yksittäinen ontelokoko (8 x 6 tuumaa) ja suurin tuotantokapasiteetti. Se tarjoaa joustavat 6 - ja 4 tuuman kokoonpanot, jotka on suunniteltu minimoimaan tuotantokustannukset säilyttäen samalla tuotteen erinomaisen laadun. Lämminseinämäiselle planeetta-CVD-järjestelmälle on ominaista useiden levyjen kasvu yhdessä uunissa, ja tuotantoteho on korkea.
VeTek Semiconductor tarjoaa täydellisen lisävarustesarjan Aixtron G5 MOCVD Susceptor -järjestelmään ja Aixtron G5+järjestelmä, Aixtron G5 MOCVD Susceptors koostuu seuraavista lisävarusteista:
Työntöosa, pyörimisen esto | Jakelurengas | Katto | Pidike, katto, eristetty | Peitelevy, ulompi |
Peitelevy, sisä | Kannen rengas | Disc | Vedettävä kansilevy | Pin |
Pin-aluslevy | Planeettalevy | Keräimen sisääntulon rengasväli | Pakokaasun ylempi | Suljin |
Tukirengas | Tukiputki |
CVD SiC -pinnoitteen fyysiset perusominaisuudet:
CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Kristallirakenne | FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu |
Tiheys | 3,21 g/cm³ |
Kovuus | 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g) |
viljan koko | 2-10 μm |
Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimaatiolämpötila | 2700 ℃ |
Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
Youngin Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
Lämmönjohtavuus | 300 W · m-1·K-1 |
Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5 × 10-6·K-1 |