VeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidilla päällystettyjen planeettapyörivien levyjen valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet keraamiseen pinnoitukseen useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus ja korkea lämpötilankesto. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäaikainen kumppanisi Kiina.
Kiinalainen valmistaja VeTek Semiconductor tarjoaa korkealaatuista tantaalikarbidilla päällystettyä planetaarista pyörimislevyä. OstaaTantaalikarbidipinnoitettuPlanetary Rotation Disk, joka on korkealaatuinen suoraan edulliseen hintaan.
Tantaalikarbidilla päällystetty planetaarinen pyörityslevy on AIXTRON G10 MOCVD -järjestelmään suunniteltu lisävaruste, jonka tavoitteena on parantaa puolijohteiden valmistuksen tehokkuutta ja laatua. Korkealaatuisista materiaaleista valmistettu ja tarkasti valmistettu tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy tarjoaa erinomaisen suorituskyvyn ja luotettavuudenMetalli-orgaaninen kemiallinen höyrypinnoitus (MOCVD) prosesseja.
Planetary Disk on rakennettu käyttämällä grafiittisubstraattia, joka on päällystettyCVD TaC, joka tarjoaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, korkean puhtauden ja kestävyyden korkeille lämpötiloille.
Eri puolijohdekiekkokokoja varten räätälöitävissä oleva Planetary Disk soveltuu erilaisiin tuotantovaatimuksiin. Sen vankka rakenne on suunniteltu erityisesti kestämään MOCVD-järjestelmän vaativia käyttöolosuhteita, mikä takaa pitkäkestoisen suorituskyvyn ja minimoi kiekkokannattimiin ja suskeptoreihin liittyvät seisokit ja ylläpitokustannukset.
Planetary Disk -levyn avullaAIXTRON G10 MOCVD-järjestelmävoi saavuttaa korkeamman tehokkuuden ja parempia tuloksia puolijohteiden valmistuksessa. Sen poikkeuksellinen lämpöstabiilisuus, yhteensopivuus erikokoisten kiekkojen kanssa ja luotettava suorituskyky tekevät siitä olennaisen työkalun tuotannon tehokkuuden optimoinnissa ja erinomaisten tulosten saavuttamisessa haastavassa MOCVD-ympäristössä.
TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet | |
Tiheys | 14,3 (g/cm³) |
Ominaisemissiokyky | 0.3 |
Lämpölaajenemiskerroin | 6,3*10-6/K |
Kovuus (HK) | 2000 HK |
Resistanssi | 1×10-5Ohmi*cm |
Lämpöstabiilisuus | <2500 ℃ |
Grafiitin koko muuttuu | -10-20um |
Pinnoitteen paksuus | ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |