VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.
Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.
VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.
Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.
CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Kristallirakenne | FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu |
Tiheys | 3,21 g/cm³ |
Kovuus | 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g) |
viljan koko | 2-10 μm |
Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimaatiolämpötila | 2700℃ |
Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
Youngin Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
Lämmönjohtavuus | 300W·m-1·K-1 |
Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor keskittyy CVD-SiC-bulkkilähteiden, CVD SiC -pinnoitteiden ja CVD TaC -pinnoitteiden tutkimukseen ja kehittämiseen sekä teollistukseen. Esimerkkinä CVD SiC -lohko SiC Crystal Growthille, tuotteen käsittelytekniikka on edistynyt, kasvunopeus on nopea, korkeiden lämpötilojen kestävyys ja korroosionkestävyys ovat vahvat. Tervetuloa tiedustelemaan.
Lue lisääLähetä kyselyVetek Semiconductorin erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka muodostuu kemiallisesta höyrypinnoituksesta (CVD), voidaan käyttää lähdemateriaalina piikarbidikiteiden kasvattamiseen fyysisellä höyrykuljetuksella (PVT). SiC Crystal Growth New Technologyssa lähdemateriaali ladataan upokkaaseen ja sublimoidaan siemenkiteelle. Käytä hylättyjä CVD-SiC-lohkoja materiaalin kierrättämiseen piikarbidikiteiden kasvattamisen lähteenä. Tervetuloa perustamaan kumppanuussuhdetta kanssamme.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava CVD SiC suihkupään valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet piikarbidimateriaaliin useiden vuosien ajan. CVD SiC Shower Head on valittu fokusointirengasmateriaaliksi sen erinomaisen lämpökemiallisen stabiiliuden, korkean mekaanisen lujuuden ja kestävyyden vuoksi. plasmaeroosiota. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäksi aikaa kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava piikarbidi-suihkupään valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet piikarbidimateriaaliin useiden vuosien ajan. SiC-suihkupää on valittu fokusointirengasmateriaaliksi sen erinomaisen lämpökemiallisen stabiiliuden, korkean mekaanisen lujuuden ja plasmaeroosionkestävyyden vuoksi. .Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor, johtava CVD SiC -pinnoitteiden valmistaja, tarjoaa SiC Coating Set -levyä Aixtron MOCVD -reaktoreissa. Nämä SiC Coating Set -levyt on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista, ja niissä on CVD SiC -pinnoite, jonka epäpuhtaudet ovat alle 5 ppm. Otamme mielellämme vastaan tätä tuotetta koskevat tiedustelut.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor, hyvämaineinen CVD SiC -pinnoitteiden valmistaja, tuo sinulle huippuluokan SiC Coating Collector Centerin Aixtron G5 MOCVD -järjestelmässä. Nämä piikarbidipinnoitteen keräyskeskukset on suunniteltu huolellisesti erittäin puhtaalla grafiitilla, ja niissä on edistynyt CVD SiC -pinnoite, joka varmistaa korkean lämpötilan vakauden, korroosionkestävyyden ja korkean puhtauden. Odotan innolla yhteistyötä kanssasi!
Lue lisääLähetä kysely