Kiina Piikarbidipinnoite Valmistaja, toimittaja, tehdas

VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.

Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.

VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.

Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.

Voimme tehdä reaktorin osat:

Piikarbidipinnoitteella on useita ainutlaatuisia etuja:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor piikarbidipinnoitteen parametri:

CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet
Omaisuus	Tyypillinen arvo
Kristallirakenne	FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu
Tiheys	3,21 g/cm³
Kovuus	2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g)
viljan koko	2-10 μm
Kemiallinen puhtaus	99,99995 %
Lämpökapasiteetti	640 J·kg-1·K-1
Sublimaatiolämpötila	2700℃
Taivutusvoima	415 MPa RT 4-piste
Youngin Modulus	430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃
Lämmönjohtavuus	300W·m-1·K-1
Lämpölaajeneminen (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Kiinteä SiC-kaasusuihkupää

VeTek Semiconductor on johtava Solid SiC -kaasusuihkupään valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet puolijohdemateriaaleihin useiden vuosien ajan. VeTek Semiconductor Solid SiC -kaasusuihkupään monihuokoinen rakenne varmistaa, että CVD-prosessissa syntyvä lämpö voidaan hajauttaa , varmistaen, että alusta lämpenee tasaisesti. Odotamme innolla, että pääsemme aloittamaan pitkän aikavälin kanssasi Kiinassa.

Lue lisää Lähetä kysely

Kemiallinen höyrypinnoitusprosessi Kiinteä piikarbidin reunarengas

VeTek Semiconductor on johtava kemiallisen höyrypinnoitusprosessin Solid SiC Edge Ring -valmistaja ja -kehittäjä Kiinassa. Olemme erikoistuneet puolijohdemateriaaleihin useiden vuosien ajan. VeTek Semiconductor solid SiC -reunarengas tarjoaa paremman etsauksen tasaisuuden ja tarkan kiekkojen sijoittelun, kun sitä käytetään sähköstaattisen istukan kanssa. , varmistaa johdonmukaiset ja luotettavat etsaustulokset. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäksi aikaa kumppaniksesi Kiinassa.

Lue lisää Lähetä kysely

Kiinteä piikarbidi syövytetty tarkennusrengas

VeTek Semiconductor on johtava Solid SiC Etching Focusing Ring -renkaiden valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet piikarbidimateriaaliin useiden vuosien ajan. Kiinteä piikarbidi on valittu fokusointirengasmateriaaliksi sen erinomaisen lämpökemiallisen stabiiliuden, korkean mekaanisen lujuuden ja plasman kestävyyden vuoksi. eroosiota. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.

Lue lisää Lähetä kysely

<...12 13 14 15 16 >

Ammattimaisena Piikarbidipinnoite-valmistajana ja -toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetpa räätälöityjä palveluita vastaamaan alueesi erityistarpeita tai haluat ostaa kehittyneitä ja kestäviä Piikarbidipinnoite Kiinassa valmistettuja tuotteita, voit jättää meille viestin.