VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.
Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.
VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.
Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.
CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Kristallirakenne | FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu |
Tiheys | 3,21 g/cm³ |
Kovuus | 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g) |
viljan koko | 2-10 μm |
Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimaatiolämpötila | 2700℃ |
Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
Youngin Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
Lämmönjohtavuus | 300W·m-1·K-1 |
Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Vetek Semiconductor on ammattimainen valmistamaan CVD SiC -pinnoitteita, TaC-pinnoitteita grafiitille ja piikarbidimateriaalille. Tarjoamme OEM- ja ODM-tuotteita, kuten piikarbidipinnoitettu jalusta, kiekkoteline, kiekkoistukka, kiekkoteline, planeettalevy ja niin edelleen. 1000-luokan puhdastila- ja puhdistuslaitteen avulla voimme tarjota sinulle tuotteita, joiden epäpuhtaudet ovat alle 5 ppm. Odotamme innolla kuulemista sinulta pian.
Lue lisääLähetä kyselyVetek Semiconductor tekee tiivistä yhteistyötä asiakkaiden kanssa räätälöityjen SiC Coating Inlet Ring -mallien suunnittelussa, joka on räätälöity erityistarpeisiin. Nämä SiC-pinnoitteen sisääntulorengas Ne on suunniteltu huolellisesti erilaisiin sovelluksiin, kuten CVD SiC -laitteisiin ja piikarbidiepitaksiin. Räätälöityjä SiC Coating Inlet Ring -ratkaisuja varten älä epäröi ottaa yhteyttä Vetek Semiconductoriin saadaksesi henkilökohtaista apua.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen kiinalainen valmistaja ja toimittaja, joka tuottaa pääasiassa piikarbidipinnoitettuja tukirenkaita, CVD-piikarbidi (SiC) pinnoitteita, tantaalikarbidi (TaC) pinnoitteita, bulkkipiikarbidia, piikarbidijauheita ja erittäin puhtaita piikarbidimateriaaleja. Olemme sitoutuneet tarjoamaan täydellistä teknistä tukea ja lopullisia tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle, tervetuloa ottamaan meihin yhteyttä.
Lue lisääLähetä kyselyVetek Semiconductorin kiekkoistukka on keskeinen rooli puolijohteiden valmistuksessa, mikä mahdollistaa nopean ja laadukkaan tuotannon. Oman valmistuksen, kilpailukykyisen hinnoittelun ja vankan T&K-tuen ansiosta Vetek Semiconductor on erinomainen tarkkuuskomponenttien OEM/ODM-palveluissa. Odotamme kyselyäsi.
Lue lisääLähetä kyselyALD-prosessi tarkoittaa Atomic Layer Epitaxy -prosessia. Vetek Semiconductor- ja ALD-järjestelmien valmistajat ovat kehittäneet ja tuottaneet piikarbidilla päällystettyjä ALD-planetaarisia suskeptoreita, jotka täyttävät ALD-prosessin korkeat vaatimukset jakaakseen ilmavirran tasaisesti alustalle. Samalla Vetek Semiconductorin erittäin puhdas CVD SiC -pinnoite varmistaa prosessin puhtauden. Tervetuloa keskustelemaan yhteistyöstä kanssamme.
Lue lisääLähetä kyselyVetek Semiconductor keskittyy CVD SiC -pinnoitteen ja CVD TaC -pinnoitteen tutkimukseen ja kehittämiseen sekä teollistamiseen. Esimerkkinä piikarbidipinnoite suskeptori, tuote on hyvin prosessoitu korkean tarkkuuden, tiheän CVD SIC -pinnoitteen, korkean lämpötilan kestävyyden ja vahvan korroosionkestävyyden ansiosta. Tiedustelut meille ovat tervetulleita.
Lue lisääLähetä kysely