SiC Coating Collector Center

VeTek Semiconductor SiC Coating Coating Collector Centerillä on tärkeä rooli Semiconductor EPI -prosessin tuotannossa. Se on yksi avainkomponenteista, joita käytetään kaasun jakelussa ja ohjauksessa epitaksiaalisessa reaktiokammiossa. Tervetuloa kysymään meiltä PiC-pinnoitteesta ja TaC-pinnoitteesta tehtaallamme.

SiC Coating Collector Centerin rooli on seuraava:

Kaasun jakelu: SiC Coating Collector Centeriä käytetään erilaisten kaasujen syöttämiseen epitaksiaaliseen reaktiokammioon. Siinä on useita sisään- ja ulostuloaukkoja, jotka voivat jakaa erilaisia ​​kaasuja haluttuihin paikkoihin vastaamaan tiettyjä epitaksiaalisia kasvutarpeita.

Kaasun ohjaus: SiC Coating Collector Center saavuttaa jokaisen kaasun tarkan ohjauksen venttiilien ja virtauksensäätölaitteiden kautta. Tämä tarkka kaasunsäätö on välttämätöntä epitaksiaalisen kasvuprosessin onnistumiselle halutun kaasupitoisuuden ja virtausnopeuden saavuttamiseksi, mikä varmistaa kalvon laadun ja yhtenäisyyden.

Tasaisuus: Keskikaasunkeräysrenkaan suunnittelu ja asettelu auttavat saavuttamaan tasaisen kaasun jakautumisen. Kohtuullisen kaasun virtausreitin ja jakelutavan ansiosta kaasu sekoitetaan tasaisesti epitaksiaalisessa reaktiokammiossa kalvon tasaisen kasvun saavuttamiseksi.

Epitaksiaalisten tuotteiden valmistuksessa SiC Coating Collector Centerillä on keskeinen rooli kalvon laadussa, paksuudessa ja yhtenäisyydessä. Kaasun asianmukaisen jakelun ja ohjauksen avulla SiC Coating Collector Center voi varmistaa epitaksiaalisen kasvuprosessin vakauden ja johdonmukaisuuden, jotta saadaan korkealaatuisia epitaksiaalisia kalvoja.

Verrattuna grafiittikeräyskeskukseen, SiC Coated Collector Centerillä on parannettu lämmönjohtavuus, parannettu kemiallinen inertisyys ja erinomainen korroosionkestävyys. Piikarbidipinnoite parantaa merkittävästi grafiittimateriaalin lämmönhallintakykyä, mikä johtaa parempaan lämpötilan tasaisuuteen ja tasaiseen kalvon kasvuun epitaksiaalisissa prosesseissa. Lisäksi pinnoite muodostaa suojakerroksen, joka vastustaa kemiallista korroosiota ja pidentää grafiittikomponenttien käyttöikää. Kaiken kaikkiaan piikarbidilla päällystetty grafiittimateriaali tarjoaa erinomaisen lämmönjohtavuuden, kemiallisen inerttiyden ja korroosionkestävyyden, mikä varmistaa paremman vakauden ja laadukkaan kalvon kasvun epitaksiaalisissa prosesseissa.

CVD SiC -pinnoitteen fyysiset perusominaisuudet:

Teollisuusketju:

Tuotantomyymälä