VeTek Semiconductorin ainutlaatuiset karbidipinnoitteet tarjoavat erinomaisen suojan grafiittiosille SiC Epitaxy Process -prosessissa vaativien puolijohde- ja komposiittipuolijohdemateriaalien käsittelyyn. Tuloksena on pidennetty grafiittikomponenttien käyttöikä, säilynyt reaktion stoikiometria, estetty epäpuhtauksien kulkeutumista epitaksi- ja kiteenkasvatussovelluksiin, mikä parantaa saantoa ja laatua.
Tantaalikarbidipinnoitteemme (TaC) suojaavat kriittisiä uunin ja reaktorin komponentteja korkeissa lämpötiloissa (jopa 2200°C) kuumalta ammoniakilta, vedystä, piihöyryiltä ja sulailta metalleilta. VeTek Semiconductorilla on laaja valikoima grafiitin käsittely- ja mittausominaisuuksia räätälöityjen vaatimusten täyttämiseksi, joten voimme tarjota maksullisen pinnoitteen tai täyden palvelun asiantuntijatiimimme kanssa, joka on valmis suunnittelemaan oikean ratkaisun sinulle ja sinun sovelluksellesi .
Yhdistetyt puolijohdekiteet
VeTek Semiconductor voi tarjota erityisiä TaC-pinnoitteita erilaisille komponenteille ja kantajille. VeTek Semiconductorin alan johtavan pinnoitusprosessin avulla TaC-pinnoite voi saavuttaa korkean puhtauden, korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korkean kemiallisen kestävyyden, mikä parantaa kide-TaC/GaN)- ja EPl-kerrosten tuotteiden laatua ja pidentää kriittisten reaktorin komponenttien käyttöikää.
Lämmöneristimet
SiC-, GaN- ja AlN-kiteiden kasvatuskomponentit, mukaan lukien upokkaat, siemenpidikkeet, ohjaimet ja suodattimet. Teollisuuskokoonpanot, mukaan lukien resistiiviset lämmityselementit, suuttimet, suojarenkaat ja juotoskiinnikkeet, GaN- ja SiC-epitaksiaaliset CVD-reaktorin komponentit, mukaan lukien kiekkotelineet, satelliittialustat, suihkupäät, korkit ja jalustat, MOCVD-komponentit.
LED (Light Emitting Diode) kiekkoteline
ALD (Semiconductor) -vastaanotin
EPI-reseptori (SiC Epitaxy Process)
TaC-pinnoitettu satelliittisuskeptori TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating osat Halfmoon osat TaC-pinnoitteella
SiC | TaC | |
Pääpiirteet | Erittäin puhdas, erinomainen plasmankestävyys | Erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius (korkean lämpötilan prosessinmukaisuus) |
Puhtaus | >99,9999 % | >99,9999 % |
Tiheys (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Kovuus (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Resistanssi [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Lämmönjohtavuus (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Lämpölaajenemiskerroin (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Sovellus | Puolijohdelaitteet Keraaminen jigi (tarkennusrengas, suihkupää, nukkekiekko) | SiC Yksikidekasvatus, Epi, UV-LED-laitteiden osat |
VeTek Semiconductorin TaC Coating Jalustan tukilevy on erittäin tarkka tuote, joka on suunniteltu täyttämään puolijohteiden epitaksiprosessien erityisvaatimukset. TaC-pinnoitteensa, korkean lämpötilan kestävyytensä ja kemiallisen inertiteettinsä ansiosta tuotteemme antavat sinulle mahdollisuuden tuottaa korkealaatuisia korkealaatuisia EPI-kerroksia. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin TaC Coating Chuckissa on korkealaatuinen TaC-pinnoite, joka tunnetaan erinomaisesta korkeiden lämpötilojen kestävyydestään ja kemiallisesta inertsistään, erityisesti piikarbidin (SiC) epitaksiprosesseissa (EPI). Poikkeuksellisten ominaisuuksiensa ja erinomaisen suorituskyvyn ansiosta TaC Coating Chuck tarjoaa useita keskeisiä etuja. Olemme sitoutuneet tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan ja odotamme innolla, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin LPE SiC Epi Halfmoon, vallankumouksellinen tuote, joka on suunniteltu nostamaan LPE-reaktorin SiC-epitaksiprosesseja. Tässä huippuluokan ratkaisussa on useita keskeisiä ominaisuuksia, jotka takaavat erinomaisen suorituskyvyn ja tehokkuuden koko tuotantotoiminnassasi. Odotan innolla pitkäaikaista yhteistyötä kanssasi.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on Kiinan johtava tantaalikarbidi TaC Coated Halfmoon valmistaja ja toimittaja, olemme erikoistuneet tutkimukseen ja kehitykseen ja tuotantoon, voimme hallita laatua hyvin ja tarjota kilpailukykyisen hinnan. Olet tervetullut vierailemaan tehtaallamme keskustelemaan lisää pitkäaikaisesta yhteistyöstä.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava TaC-pinnoitettujen kolmiterälehtisten renkaiden valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet TaC- ja SiC-pinnoitteisiin useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korroosionkestävyys, korkea lujuus. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidilla päällystetyn istukan valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet TaC-pinnoitteisiin useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus ja korkeiden lämpötilojen kestävyys 2000 ℃ asti. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäkestoiseksi kumppani Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely