Tantaalikarbidilla päällystetty istukka

VeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidilla päällystetyn istukan valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet TaC-pinnoitteisiin useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus ja korkeiden lämpötilojen kestävyys 2000 ℃ asti. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäkestoiseksi kumppani Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

VeTek Semiconductor toimittaa korkealaatuisia tantaalikarbidilla päällystettyjä osia, SiC-pinnoiteosia kilpailukykyiseen hintaan. Tervetuloa tiedustelemaan meitä. VeTek Semiconductor -tantaalikarbidilla päällystetty istukka, suunniteltu erityisesti AIXTRON G10 MOCVD -järjestelmää varten. Tämä lisävaruste parantaa puolijohteiden valmistuksen tehokkuutta ja laatua ja tarjoaa erinomaisen suorituskyvyn ja luotettavuuden.

Laadukkaista materiaaleista valmistettu ja tarkasti valmistettu istukka sisältää grafiittisubstraatin, joka on päällystetty CVD-tantaalikarbidilla (TaC). Tämä pinnoite tarjoaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, korkean puhtauden ja kestävyyden korkeille lämpötiloille. Se varmistaa luotettavan suorituskyvyn vaativissa MOCVD-prosessien olosuhteissa.

Istukka on räätälöitävissä erikokoisille puolijohdekiekkoille, joten se sopii erilaisiin tuotantovaatimuksiin. Sen vankka rakenne minimoi kiekkokannattimiin ja suskeptoreihin liittyvät seisokit ja ylläpitokustannukset.

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coated -istukan avulla AIXTRON G10 MOCVD -järjestelmä saavuttaa suuremman tehokkuuden ja ylivoimaiset tulokset puolijohteiden valmistuksessa. Sen poikkeuksellinen lämpöstabiilisuus, yhteensopivuus erikokoisten kiekkojen kanssa ja luotettava suorituskyky tekevät siitä olennaisen työkalun tuotannon tehokkuuden optimoinnissa ja erinomaisten tulosten saavuttamisessa haastavassa MOCVD-ympäristössä.

Tantaalikarbidilla päällystetyn istukan tuoteparametri

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6,3 10-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10-5 ohmia*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)