VeTek Semiconductorin ainutlaatuiset karbidipinnoitteet tarjoavat erinomaisen suojan grafiittiosille SiC Epitaxy Process -prosessissa vaativien puolijohde- ja komposiittipuolijohdemateriaalien käsittelyyn. Tuloksena on pidennetty grafiittikomponenttien käyttöikä, säilynyt reaktion stoikiometria, estetty epäpuhtauksien kulkeutumista epitaksi- ja kiteenkasvatussovelluksiin, mikä parantaa saantoa ja laatua.
Tantaalikarbidipinnoitteemme (TaC) suojaavat kriittisiä uunin ja reaktorin komponentteja korkeissa lämpötiloissa (jopa 2200°C) kuumalta ammoniakilta, vedystä, piihöyryiltä ja sulailta metalleilta. VeTek Semiconductorilla on laaja valikoima grafiitin käsittely- ja mittausominaisuuksia räätälöityjen vaatimusten täyttämiseksi, joten voimme tarjota maksullisen pinnoitteen tai täyden palvelun asiantuntijatiimimme kanssa, joka on valmis suunnittelemaan oikean ratkaisun sinulle ja sinun sovelluksellesi .
Yhdistetyt puolijohdekiteet
VeTek Semiconductor voi tarjota erityisiä TaC-pinnoitteita erilaisille komponenteille ja kantajille. VeTek Semiconductorin alan johtavan pinnoitusprosessin avulla TaC-pinnoite voi saavuttaa korkean puhtauden, korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korkean kemiallisen kestävyyden, mikä parantaa kide-TaC/GaN)- ja EPl-kerrosten tuotteiden laatua ja pidentää kriittisten reaktorin komponenttien käyttöikää.
Lämmöneristimet
SiC-, GaN- ja AlN-kiteiden kasvatuskomponentit, mukaan lukien upokkaat, siemenpidikkeet, ohjaimet ja suodattimet. Teollisuuskokoonpanot, mukaan lukien resistiiviset lämmityselementit, suuttimet, suojarenkaat ja juotoskiinnikkeet, GaN- ja SiC-epitaksiaaliset CVD-reaktorin komponentit, mukaan lukien kiekkotelineet, satelliittialustat, suihkupäät, korkit ja jalustat, MOCVD-komponentit.
LED (Light Emitting Diode) kiekkoteline
ALD (Semiconductor) -vastaanotin
EPI-reseptori (SiC Epitaxy Process)
TaC-pinnoitettu satelliittisuskeptori TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating osat Halfmoon osat TaC-pinnoitteella
SiC | TaC | |
Pääpiirteet | Erittäin puhdas, erinomainen plasmankestävyys | Erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius (korkean lämpötilan prosessinmukaisuus) |
Puhtaus | >99,9999 % | >99,9999 % |
Tiheys (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Kovuus (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Resistanssi [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Lämmönjohtavuus (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Lämpölaajenemiskerroin (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Sovellus | Puolijohdelaitteet Keraaminen jigi (tarkennusrengas, suihkupää, nukkekiekko) | SiC Yksikidekasvatus, Epi, UV-LED-laitteiden osat |
VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier on ammattimainen CVD TaC Coating Wafer Carrier -tuotevalmistaja ja -tehdas Kiinassa. Tällä tuotteella on korkea mekaaninen lujuus, erinomainen korroosionkestävyys ja lämpöstabiilisuus, mikä antaa tarvittavan takuun korkealaatuisten puolijohdelaitteiden valmistukseen. Lisätietosi ovat tervetulleita.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava TaC Coating Heaterin valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Tällä tuotteella on erittäin korkea sulamispiste (noin 3880 °C). TaC Coating Heaterin korkea sulamispiste mahdollistaa sen toiminnan erittäin korkeissa lämpötiloissa, erityisesti galliumnitridi (GaN) epitaksiaalisten kerrosten kasvaessa metallin orgaanisen kemiallisen höyrypinnoitusprosessissa (MOCVD). VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena TaC Coated Chuckin valmistajana ja toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductorin TaC Coating Chuck on suunniteltu erityisesti puolijohdeuuneihin. Vetek Semiconductorin innovatiivinen teknologia tarjoaa korkean lämpötilan kestävyyden, kemiallisen inerttiyden ja erinomaisen suorituskyvyn ansiosta luotettavan ratkaisun puolijohdeteollisuudelle korkealaatuisten tuotantostandardien varmistamiseksi. Uskomme, että tuotteemme voivat tuoda sinulle kehittynyttä teknologiaa ja korkealaatuisia tuoteratkaisuja.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena TaC-pinnoiteputkien valmistajana ja toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductorin TaC-pinnoiteputki on avainkomponentti piikarbidin yksikiteiden menestyksekkäässä kasvussa. Korkean lämpötilan kestävyyden, kemiallisen inertin ja erinomaisen suorituskyvyn ansiosta se varmistaa korkealaatuisten kiteiden tuotannon tasaisin tuloksin. Luota innovatiivisiin ratkaisuihimme parantaaksesi PVT-menetelmälläsi piikarbidikiteiden kasvuprosessia ja saavuttaaksesi erinomaisia tuloksia. Tervetuloa tiedustelemaan meitä.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava CVD TAC -pinnoitteen valmistaja, innovaattori ja johtaja Kiinassa. Olemme useiden vuosien ajan keskittyneet erilaisiin CVD TAC Coating -tuotteisiin, kuten CVD TaC -pinnoituskanteen, CVD TaC -pinnoitusrenkaaseen, CVD TaC -pinnoitteen alustaan jne. VeTek Semiconductor tukee räätälöityjä tuotepalveluita ja tyydyttäviä tuotehintoja ja odottaa innolla jatkoa. konsultointi.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen TaC Coating Plate -levyn ja muiden TaC Coating -varaosien valmistaja Kiinassa. TaC Coatingia käytetään tällä hetkellä pääasiassa prosesseissa, kuten piikarbidin yksikidekasvatus (PVT-menetelmä), epitaksilevy (mukaan lukien piikarbidi-epitaksi, LED-epitaksi) jne. Yhdessä TaC-pinnoitelevyn, VeTek Semiconductor TaC:n, hyvän pitkäaikaisen stabiilisuuden kanssa Coating Platesta on tullut TaC Coatingin varaosien vertailukohta. Odotamme innolla, että sinusta tulee pitkäaikainen kumppanimme.
Lue lisääLähetä kysely