TaC-pinnoitettu kolmen terälehtirengas

VeTek Semiconductor on ammattimainen kiinalainen TaC-pinnoitettujen kolmen terälehtirenkaiden valmistaja ja toimittaja. TaC-pinnoitettua kolmiterälehtirengasta käytetään Aixtron G10 -pinnoitusjärjestelmässä yhdistepuolijohteiden, G10-GaN 150/200 mm korkean suorituskyvyn epitaksia varten GaN teholle ja RF:lle. sovellukset.

VeTek Semiconductor TaC -pinnoite on uuden sukupolven korkeita lämpötiloja kestävä materiaali, jolla on parempi korkean lämpötilan stabiilisuus kuin SiC:llä, korroosionkestävänä pinnoitteena, hapettumista kestävänä pinnoitteena, kulutusta kestävänä pinnoitteena, voidaan käyttää yli 2000 ℃ ympäristössä, jota käytetään laajalti ilmailu ultra-korkean lämpötilan hot end osat, kolmannen sukupolven puolijohteiden yksikide kasvua ja muilla aloilla.

Tuotteen ominaisuudet:

1. Erittäin puhdas, epäpuhtauspitoisuus < 5 ppm

2. Korkean lämpötilan kestävyys, korroosionkestävyys, korkea tiheys, korkea tiheys

3. Se on kemiallisesti inertti ammoniakin, vedyn, silaanin ja piin suhteen korkeassa lämpötilassa ja sillä on hyvä lämmönkestävyys.

4. Lämpösokinkestävyys, voi nopeuttaa toimintajaksoa

5. Vahva grafiittikiinnitys varmistaa pitkän käyttöiän eikä pinnoitteen irtoamista.

6. Tiukat mittatoleranssit.

Pääsovellukset:

1. Epitaksiaalinen kasvu

2. Yksikiteiden kasvu

3. Korkean lämpötilan korroosion suuntautuminen

4. Korkean lämpötilan ja hapettumisen kestävä suutin

5. Kaasuturbiinin lavat

TaC-päällystetyn kolmiterälehtirenkaan tuoteparametri

VeTek Semiconductor Production Shop