eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor on grafiittialusta, joka on päällystetty tantaalikarbidilla piikarbidin epitaksiaalista kasvua varten kiekkojen laadun ja suorituskyvyn parantamiseksi. VeTek on valittu edistyneen pinnoitusteknologiansa ja kestävien ratkaisujensa ansiosta, jotka takaavat erinomaiset SiC-epitaksiatulokset ja pidennetyn suskeptorin käyttöiän. Tervetuloa lisätiedusteluihin.
VeTek Semiconductor TaC -pinnoitettu kiekkosuskeptori on avainkomponentti, jota käytetäänMetalli-orgaaninen kemiallinen höyrypinnoitus (MOCVD)reaktoreita vartenpuolijohdeepitaksiaaliset (epi) prosessit. Tämä erikoistunut pyöreä pohja on valmistettu korkealaatuisesta grafiitista ja päällystetty kerroksella tantaalikarbidia (TaC), joka on tunnettu poikkeuksellisista lämpö- ja kemiallisista ominaisuuksistaan.
TaC-pinnoitteen ensisijainen tehtävä on parantaa kiekon suskeptorin suorituskykyä ja kestävyyttä puolijohteiden valmistuksen ankarissa olosuhteissa. Tantaalikarbidi on kuuluisa kovuudestaan, korkeasta sulamispisteestään ja erinomaisesta kulutuskestävyydestään, mikä tekee siitä ihanteellisen suojakerroksen. Tämä pinnoite suojaa alla olevaa grafiittipohjaa syövyttäviltä kemiallisilta reaktioilta ja mekaanisilta rasituksilta, joita esiintyyMOCVD-reaktoritpidentää laitteen käyttöikää ja parantaa luotettavuutta.
Puolijohdemateriaalien epitaksiaalisessa kasvussa TaC-pinnoitetulla kiekkosuskeptorilla on tärkeä rooli varmistamalla tarkan kalvon kerrostumisen. Sen kestävyys korkeita lämpötiloja ja ankaria kemiallisia ympäristöjä vastaan on kriittistä puolijohdelaitteiden tarkan valmistuksen kannalta, mikä mahdollistaa laitteiden toiminnan vakaasti vaativissa prosessiolosuhteissa.
Yhdistelmä agrafiittiydinjaTaC pinnoitevarmistaa tasaisen lämmön jakautumisen suskeptorin yli, mikä on välttämätöntä MOCVD-prosessin aikana kasvatettujen puolijohdekerrosten toistettavuuden ja laadun parantamiseksi. Tämä edistyksellinen materiaalirakenne ei ainoastaan tarjoa kestävyyttä, vaan myös täyttää nykyaikaisen puolijohdevalmistuksen tiukat vaatimukset korkean suorituskyvyn elektronisille komponenteille.
Johtavana TaC-pinnoitettujen kiekkosuskeptorien toimittajana ja valmistajana VeTek Semiconductor on sitoutunut toimittamaan korkealaatuisia teknisiä ratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Odotamme innolla, että saamme tulla pitkäaikaiseksi luotettavaksi kumppaniksesi Kiinassa, joka tarjoaa luotettavia, räätälöityjä tuotteita.
VeTek Semiconductor TaC -pinnoitettu kiekkosuskeptoriliikkeet: