VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.
Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.
VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.
Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.
CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Kristallirakenne | FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu |
Tiheys | 3,21 g/cm³ |
Kovuus | 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g) |
viljan koko | 2-10 μm |
Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimaatiolämpötila | 2700℃ |
Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
Youngin Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
Lämmönjohtavuus | 300W·m-1·K-1 |
Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Ammattimaisena piikarbidikiekkojen alustan valmistajana ja toimittajana Kiinassa Vetek Semiconductorin SiC-pinnoitettuja kiekkoalustoja käytetään pääasiassa parantamaan epitaksiaalikerroksen kasvun tasaisuutta ja varmistamaan niiden stabiilisuus ja eheys korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä. Odotan kyselyäsi.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen ALD Susceptor-, CVD SiC -pinnoitteen ja CVD TAC COATING -grafiittipohjan valmistaja Kiinassa. Vetek Semiconductor kehitti ja valmisti yhdessä ALD-järjestelmän valmistajien kanssa SiC-pinnoitettuja ALD-planeettaalustoja täyttääkseen ALD-prosessin korkeat vaatimukset ja jakaakseen ilmavirran tasaisesti alustalle. Odotamme innolla jatkoyhteistyötä kanssasi.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena CVD SiC -pinnoitettujen kattojen valmistajana ja toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductorin CVD SiC -pinnoitetulla katolla on erinomaiset ominaisuudet, kuten korkea lämpötilan kestävyys, korroosionkestävyys, korkea kovuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, joten se on ihanteellinen materiaalivalinta puolijohteiden valmistuksessa. Odotamme innolla jatkoyhteistyötä kanssasi.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ammattimainen valmistaja MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor Kiinassa. VeTek Semiconductorin MOCVD LED Epi Susceptor on suunniteltu vaativiin epitaksiaalisiin laitesovelluksiin. Sen korkea lämmönjohtavuus, kemiallinen stabiilius ja kestävyys ovat avaintekijöitä vakaan epitaksiaalisen kasvuprosessin ja laadukkaan puolijohdekalvotuotannon varmistamiseksi. Odotamme innolla jatkoyhteistyötä kanssasi.
Lue lisääLähetä kyselyAmmattimaisena piikarbidipinnoitteen ALD-suskeptorin valmistajana ja toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductorin SiC-pinnoite ALD-suskeptori on tukikomponentti, jota käytetään erityisesti atomikerrospinnoitusprosessissa (ALD). Sillä on keskeinen rooli ALD-laitteistossa, mikä varmistaa pinnoitusprosessin tasaisuuden ja tarkkuuden. Uskomme, että ALD Planetary Susceptor -tuotteemme voivat tarjota sinulle korkealaatuisia tuoteratkaisuja.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava SiC Coating Epi Susceptor -tuotteiden valmistaja, innovaattori ja johtaja Kiinassa. Olemme useiden vuosien ajan keskittyneet erilaisiin SiC Coating -tuotteisiin, kuten SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC Coating ALD susceptor jne. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistynyttä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohteisiin. teollisuus. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.
Lue lisääLähetä kysely