Koti > Tuotteet > Piikarbidipinnoite

Kiina Piikarbidipinnoite Valmistaja, toimittaja, tehdas

VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.

Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, ​​joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia ​​kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.

VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.

Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.


Voimme tehdä reaktorin osat:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Piikarbidipinnoitteella on useita ainutlaatuisia etuja:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor piikarbidipinnoitteen parametri:

CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet
Omaisuus Tyypillinen arvo
Kristallirakenne FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu
Tiheys 3,21 g/cm³
Kovuus 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g)
viljan koko 2-10 μm
Kemiallinen puhtaus 99,99995 %
Lämpökapasiteetti 640 J·kg-1·K-1
Sublimaatiolämpötila 2700℃
Taivutusvoima 415 MPa RT 4-piste
Youngin Modulus 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃
Lämmönjohtavuus 300W·m-1·K-1
Lämpölaajeneminen (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
SiC Coating Wafer Carrier

SiC Coating Wafer Carrier

Ammattimaisena piikarbidikiekkojen alustan valmistajana ja toimittajana Kiinassa Vetek Semiconductorin SiC-pinnoitettuja kiekkoalustoja käytetään pääasiassa parantamaan epitaksiaalikerroksen kasvun tasaisuutta ja varmistamaan niiden stabiilisuus ja eheys korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä ympäristöissä. Odotan kyselyäsi.

Lue lisääLähetä kysely
ALD vastaanotin

ALD vastaanotin

VeTek Semiconductor on ammattimainen ALD Susceptor-, CVD SiC -pinnoitteen ja CVD TAC COATING -grafiittipohjan valmistaja Kiinassa. Vetek Semiconductor kehitti ja valmisti yhdessä ALD-järjestelmän valmistajien kanssa SiC-pinnoitettuja ALD-planeettaalustoja täyttääkseen ALD-prosessin korkeat vaatimukset ja jakaakseen ilmavirran tasaisesti alustalle. Odotamme innolla jatkoyhteistyötä kanssasi.

Lue lisääLähetä kysely
CVD SiC päällystetty katto

CVD SiC päällystetty katto

Ammattimaisena CVD SiC -pinnoitettujen kattojen valmistajana ja toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductorin CVD SiC -pinnoitetulla katolla on erinomaiset ominaisuudet, kuten korkea lämpötilan kestävyys, korroosionkestävyys, korkea kovuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, joten se on ihanteellinen materiaalivalinta puolijohteiden valmistuksessa. Odotamme innolla jatkoyhteistyötä kanssasi.

Lue lisääLähetä kysely
MOCVD LED Epi -suskeptori

MOCVD LED Epi -suskeptori

VeTek Semiconductor on ammattimainen valmistaja MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor Kiinassa. VeTek Semiconductorin MOCVD LED Epi Susceptor on suunniteltu vaativiin epitaksiaalisiin laitesovelluksiin. Sen korkea lämmönjohtavuus, kemiallinen stabiilius ja kestävyys ovat avaintekijöitä vakaan epitaksiaalisen kasvuprosessin ja laadukkaan puolijohdekalvotuotannon varmistamiseksi. Odotamme innolla jatkoyhteistyötä kanssasi.

Lue lisääLähetä kysely
SiC-pinnoite ALD-suskeptori

SiC-pinnoite ALD-suskeptori

Ammattimaisena piikarbidipinnoitteen ALD-suskeptorin valmistajana ja toimittajana Kiinassa VeTek Semiconductorin SiC-pinnoite ALD-suskeptori on tukikomponentti, jota käytetään erityisesti atomikerrospinnoitusprosessissa (ALD). Sillä on keskeinen rooli ALD-laitteistossa, mikä varmistaa pinnoitusprosessin tasaisuuden ja tarkkuuden. Uskomme, että ALD Planetary Susceptor -tuotteemme voivat tarjota sinulle korkealaatuisia tuoteratkaisuja.

Lue lisääLähetä kysely
SiC Coating Epi vastaanotin

SiC Coating Epi vastaanotin

VeTek Semiconductor on johtava SiC Coating Epi Susceptor -tuotteiden valmistaja, innovaattori ja johtaja Kiinassa. Olemme useiden vuosien ajan keskittyneet erilaisiin SiC Coating -tuotteisiin, kuten SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC Coating ALD susceptor jne. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistynyttä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohteisiin. teollisuus. Tervetuloa jatkoneuvotteluun.

Lue lisääLähetä kysely
<...56789...16>
Ammattimaisena Piikarbidipinnoite-valmistajana ja -toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetpa räätälöityjä palveluita vastaamaan alueesi erityistarpeita tai haluat ostaa kehittyneitä ja kestäviä Piikarbidipinnoite Kiinassa valmistettuja tuotteita, voit jättää meille viestin.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept