SiC-pinnoitettu tukirengas

VeTek puolijohde, johtava valmistaja ja toimittaja Kiinassa, on erikoistunut tuottamaan erilaisia ​​tuotteita, mukaan lukienSiC-pinnoitetut tukirenkaat, CVD-piikarbidipinnoitteet, tantaalikarbidipinnoitteet, bulkkipiikarbidi, piikarbidijauheet ja erittäin puhtaat piikarbidimateriaalit. Panostuksemme on tarjota kattavaa teknistä tukea ja optimaalisia tuoteratkaisuja, jotka on räätälöity puolijohdealalle. Ota rohkeasti yhteyttä saadaksesi lisätietoja ja apua.

VeTek puolijohde'sSiC-pinnoitetut tukirenkaatovat uuden sukupolven korkeita lämpötiloja kestäviä materiaaleja. Korroosionkestävinä pinnoitteina, hapettumista kestävinä pinnoitteina ja kulutusta kestävinä pinnoitteina niitä voidaan käyttää yli 1650 ℃:n ympäristöissä, ja niitä käytetään laajalti puolijohdekentillä.

Laadukkaat ominaisuudetSiC-pinnoitetut tukirenkaatniillä on erittäin tärkeä rooli kolmannen sukupolven puolijohdekomponenttien epitaksiaalisessa kasvussa.

Säilytä lämpötilan tasaisuus: SiC-pinnoitetuilla tukirenkailla on erinomainen lämmönjohtavuus ja ne voivat tarjota tasaisen lämpötilan jakautumisen epitaksiaalisen kasvun aikana. Tämä auttaa vähentämään kiekon pinnan lämpögradientteja ja jännityksiä, mikä parantaa epitaksiaalikerroksen laatua.

Äärimmäinen kemiallinen stabiilisuus: Epitaksiaalisen kasvuprosessin aikanaSiC-pinnoitetut tukirenkaatpystyvät vastustamaan reaktiokaasujen kemiallista hyökkäystä, pidentäen tukirenkaiden käyttöikää ja säilyttäen prosessin eheyden. Tämä kemiallinen stabiilisuus auttaa vähentämään kontaminaatioriskiä ja parantamaan puolijohdelaitteiden puhtautta ja suorituskykyä.

Tarkka paikannus: Piikarbidilla päällystetyt tukirenkaat pystyvät säilyttämään kiekon tarkan asennon, mikä on kriittistä tasaisen kerrostumisen saavuttamiseksi. Tämä tarkka sijoitus auttaa varmistamaan epitaksiaalikerroksen paksuuden ja laadun yhdenmukaisuuden.

CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet:

VeTek puolijohde Production Shop:

Yleiskatsaus puolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketjuun: