VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.
Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.
VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.
Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.
CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Kristallirakenne | FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu |
SiC pinnoite Tiheys | 3,21 g/cm³ |
SiC pinnoite Kovuus | 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g) |
viljan koko | 2-10 μm |
Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimaatiolämpötila | 2700℃ |
Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
Youngin Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
Lämmönjohtavuus | 300 W·m-1·K-1 |
Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor on johtava piikarbidipinnoitettujen tukien valmistaja ja toimittaja LPE PE2061S:lle Kiinassa. SiC Coated -tuki LPE PE2061S:lle sopii LPE-piitaksiaaliselle reaktorille. Piippupohjan pohjana LPE PE2061S:n SiC Coated Support -tuki kestää korkeita 1600 celsiusasteen lämpötiloja, mikä saavuttaa erittäin pitkän käyttöiän ja alentaa asiakkaiden kustannuksia. Odotan kyselyäsi ja lisäviestintääsi.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on ollut syvästi sitoutunut piikarbidipinnoitustuotteisiin useiden vuosien ajan, ja siitä on tullut johtava piikarbidipinnoitettujen pintalevyjen valmistaja ja toimittaja LPE PE2061S:lle Kiinassa. Tarjoamamme SiC-pinnoitettu ylälevy LPE PE2061S:lle on suunniteltu LPE-piitaksiaalisille reaktoreille ja sijaitsee yläosassa yhdessä tynnyrin pohjan kanssa. Tällä piikarbidilla päällystetyllä LPE PE2061S:n pintalevyllä on erinomaiset ominaisuudet, kuten korkea puhtaus, erinomainen lämpöstabiilisuus ja tasaisuus, mikä auttaa kasvattamaan korkealaatuisia epitaksiaalikerroksia. Riippumatta siitä, mitä tuotetta tarvitset, odotamme kyselyäsi.
Lue lisääLähetä kyselyYhtenä Kiinan johtavista kiekkosuskeptoritehtaista VeTek Semiconductor on edistynyt jatkuvasti kiekkosuskeptorituotteissa ja siitä on tullut monien epitaksiaalisten kiekkojen valmistajien ensimmäinen valinta. VeTek Semiconductorin LPE PE2061S:n piikarbidipinnoitettu tynnyrisuskeptori on suunniteltu LPE PE2061S 4" kiekkoille. Suskeptorissa on kestävä piikarbidipinnoite, joka parantaa suorituskykyä ja kestävyyttä LPE-prosessin (liquid phase epitaxy) aikana. Tervetuloa tiedusteluusi, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi.
Lue lisääLähetä kyselyKiinteän piikarbidin kaasusuihkupäällä on tärkeä rooli kaasun tasaamisessa CVD-prosessissa, mikä varmistaa alustan tasaisen kuumenemisen. VeTek Semiconductor on ollut syvästi mukana kiinteiden piikarbidilaitteiden alalla useiden vuosien ajan ja pystyy tarjoamaan asiakkaille räätälöityjä Solid SiC -kaasusuihkupäitä. Riippumatta vaatimuksistasi, odotamme kyselyäsi.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on aina ollut sitoutunut edistyneiden puolijohdemateriaalien tutkimukseen ja kehittämiseen sekä valmistukseen. Nykyään VeTek Semiconductor on edistynyt merkittävästi kiinteän piikarbidin reunarengastuotteissa ja pystyy tarjoamaan asiakkaille pitkälle räätälöityjä kiinteän piikarbidin reunarenkaita. Kiinteät piikarbidireunarenkaat tarjoavat paremman etsauksen tasaisuuden ja tarkan kiekkojen sijoittelun, kun niitä käytetään sähköstaattisen istukan kanssa, mikä varmistaa yhtenäisen ja luotettavan etsaustuloksen. Odotan innolla kyselyäsi ja tulemme toistemme pitkäaikaisiksi kumppaneiksi.
Lue lisääLähetä kyselySolid SiC Etching Focusing Ring on yksi kiekkojen etsausprosessin ydinkomponenteista, jolla on rooli kiekkojen kiinnittämisessä, plasman fokusoinnissa ja kiekkojen etsauksen yhtenäisyyden parantamisessa. Kiinan johtavana SiC Focusing Ring -valmistajana VeTek Semiconductorilla on edistynyt teknologia ja kypsä prosessi, ja se valmistaa Solid SiC Etching Focusing Ring -rengasta, joka täyttää täysin loppuasiakkaiden tarpeet asiakkaan vaatimusten mukaisesti. Odotamme innolla kyselyäsi ja toistemme pitkäaikaisia kumppaneita.
Lue lisääLähetä kysely