VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.
Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.
VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.
Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.
CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Kristallirakenne | FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu |
SiC pinnoite Tiheys | 3,21 g/cm³ |
SiC pinnoite Kovuus | 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g) |
viljan koko | 2-10 μm |
Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimaatiolämpötila | 2700℃ |
Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
Youngin Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
Lämmönjohtavuus | 300 W·m-1·K-1 |
Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductorin SiC Coated ICP Etching Carrier on suunniteltu vaativimpiin epitaksilaitteiden sovelluksiin. Korkealaatuisesta erittäin puhtaasta grafiittimateriaalista valmistetussa piikarbidilla päällystetyssä ICP-etsaustelineessämme on erittäin tasainen pinta ja erinomainen korroosionkestävyys, joka kestää käsittelyn ankarat olosuhteet. SiC-pinnoitetun kantoaineen korkea lämmönjohtavuus takaa tasaisen lämmön jakautumisen erinomaisten etsaustulosten saavuttamiseksi. VeTek Semiconductor on luonut pitkäaikaisia yhteistyösuhteita monien puolijohdevalmistajien kanssa. Odotamme myös pitkäaikaisen kumppanuuden rakentamista kanssasi.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor on korkealaatuinen, erittäin puhdas grafiittipidike, joka on suunniteltu kiekkojen käsittelyprosesseihin. Telineillämme on erinomainen suorituskyky ja ne toimivat hyvin ankarissa ympäristöissä, korkeissa lämpötiloissa ja ankarissa kemiallisissa puhdistusolosuhteissa. Tuotteitamme käytetään laajalti monilla Euroopan ja Amerikan markkinoilla, ja odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa. Olet tervetullut Kiinaan vierailemaan tehtaallamme ja oppimaan lisää teknologiastamme ja tuotteistamme.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava nopean lämpöhehkutuksen suskeptorien valmistaja ja toimittaja Kiinassa, joka keskittyy tarjoamaan korkean suorituskyvyn ratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Meillä on monien vuosien syvä tekninen kertyminen piikarbidipinnoitemateriaalien alalla. Rapid Thermal Hehkutus Susceptorillamme on erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys ja erinomainen lämmönjohtavuus, joka vastaa kiekkojen epitaksiaalisen valmistuksen tarpeita. Olet tervetullut vierailemaan tehtaallamme Kiinassa saadaksesi lisätietoja teknologiastamme ja tuotteistamme.
Lue lisääLähetä kyselyPiipohjainen GaN Epitaxial Susceptor on GaN Epitaxial -tuotantoon tarvittava ydinkomponentti. Ammattimaisena valmistajana ja toimittajana VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan korkealaatuista piipohjaista GaN-epitaksiaalista suskeptoria. Piipohjainen GaN-epitaksiaalinen suskeptorimme on suunniteltu piipohjaisiin GaN-epitaksiaalisiin reaktorijärjestelmiin, ja siinä on korkea puhtaus, erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys ja korroosionkestävyys. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, tervetuloa tiedustelemaan.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava puolijohdelaitteiden valmistaja Kiinassa, joka keskittyy 8 tuuman Halfmoon Part for LPE Reactorin tutkimukseen ja kehitykseen sekä tuotantoon. Meillä on vuosien varrella kertynyt runsaasti kokemusta erityisesti piikarbidipinnoitemateriaalista, ja olemme sitoutuneet tarjoamaan tehokkaita ratkaisuja, jotka on räätälöity LPE-epitaksiaalisille reaktoreille. LPE-reaktorin 8 tuuman Halfmoon Partillamme on erinomainen suorituskyky ja yhteensopivuus, ja se on välttämätön avainkomponentti epitaksiaalisessa valmistuksessa. Tervetuloa tiedusteluusi saadaksesi lisätietoja tuotteistamme.
Lue lisääLähetä kyselySiC Coated Pancake Susceptor LPE PE3061S 6" kiekkoille on yksi ydinkomponenteista, joita käytetään 6" kiekkojen epitaksiaalisessa kiekkojen käsittelyssä. VeTek Semiconductor on tällä hetkellä johtava SiC Coated Pancake Susceptor -valmistaja ja -toimittaja LPE PE3061S 6" -kiekkoja varten Kiinassa. Sen tarjoamalla SiC Coated Pancake Susceptorilla on erinomaiset ominaisuudet, kuten korkea korroosionkestävyys, hyvä lämmönjohtavuus ja hyvä tasaisuus. Odotan kyselyäsi.
Lue lisääLähetä kysely