VeTek Semiconductor on erikoistunut ultrapuhtaiden piikarbidipinnoitetuotteiden tuotantoon. Nämä pinnoitteet on suunniteltu levitettäväksi puhdistetuille grafiitille, keramiikalle ja tulenkestävälle metallikomponentille.
Puhtaat pinnoitteemme on ensisijaisesti tarkoitettu käytettäväksi puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa. Ne toimivat suojakerroksena kiekkokannattimille, suskeptoreille ja lämmityselementeille ja suojaavat niitä syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita kohdataan prosesseissa, kuten MOCVD ja EPI. Nämä prosessit ovat olennaisia kiekkojen käsittelyssä ja laitevalmistuksessa. Lisäksi pinnoitteemme soveltuvat hyvin tyhjiöuuneihin ja näytelämmitykseen, joissa kohdataan suurtyhjiö, reaktiivinen ja happiympäristö.
VeTek Semiconductorilla tarjoamme kattavan ratkaisun edistyneillä konepajaominaisuuksillamme. Näin voimme valmistaa peruskomponentit grafiitista, keramiikasta tai tulenkestävästä metallista ja levittää SiC- tai TaC-keraamiset pinnoitteet talon sisällä. Tarjoamme myös asiakkaiden toimittamien osien pinnoituspalveluita, mikä varmistaa joustavuuden erilaisiin tarpeisiin.
Piikarbidipinnoitetuotteitamme käytetään laajalti Si-epitaksissa, SiC-epitaksissa, MOCVD-järjestelmässä, RTP/RTA-prosessissa, etsausprosessissa, ICP/PSS-etsausprosessissa, erilaisten LED-tyyppien prosessissa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV. LED jne., joka on mukautettu LPE:n, Aixtronin, Veecon, Nuflaren, TEL:n, ASM:n, Annealsysin, TSI:n ja niin edelleen laitteisiin.
CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Kristallirakenne | FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu |
Tiheys | 3,21 g/cm³ |
Kovuus | 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g) |
viljan koko | 2-10 μm |
Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimaatiolämpötila | 2700℃ |
Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
Youngin Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
Lämmönjohtavuus | 300W·m-1·K-1 |
Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor on Kiinassa räätälöityjen Upper Halfmoon Part SiC -pinnoitettujen piikarbidin johtava toimittaja, joka on erikoistunut edistyneisiin materiaaleihin yli 20 vuoden ajan. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC -pinnoitettu on erityisesti suunniteltu piikarbidin epitaksiaalisille laitteille, ja se toimii tärkeänä komponenttina reaktiokammiossa. Valmistettu erittäin puhtaasta, puolijohdelaatuisesta grafiitista, se takaa erinomaisen suorituskyvyn. Kutsumme sinut käymään tehtaallamme Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava räätälöityjen piikarbidiepitaksikiekkojen toimittaja Kiinassa. Olemme erikoistuneet edistyneisiin materiaaleihin yli 20 vuotta. Tarjoamme piikarbidiepitaksikiekkojen kantajaa piikarbidialustan kuljettamiseen, piikarbidin epitaksikerroksen kasvattamiseen piikarbidiepitaksiaalisessa reaktorissa. Tämä piikarbidi Epitaxy Wafer Carrier on tärkeä puolikuuosan piikarbidilla päällystetty osa, korkean lämpötilan kestävyys, hapettumisenkestävyys ja kulutuskestävyys. Toivotamme sinut tervetulleeksi vierailemaan tehtaallamme Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin SiC Coated MOCVD Susceptor on laite, jolla on erinomainen prosessi, kestävyys ja luotettavuus. Ne kestävät korkeita lämpötiloja ja kemiallisia ympäristöjä, säilyttävät vakaan suorituskyvyn ja pitkän käyttöiän, mikä vähentää vaihto- ja huoltotiheyttä ja parantaa tuotannon tehokkuutta. MOCVD-epitaksiaalinen suskeptorimme tunnetaan suuresta tiheydestä, erinomaisesta tasaisuudesta ja erinomaisesta lämmönhallinnasta, mikä tekee siitä suositellun laitteen vaativissa valmistusympäristöissä. Odotan innolla yhteistyötä kanssasi.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin SiC Coated ICP Etching Carrier on suunniteltu vaativimpiin epitaksilaitteiden sovelluksiin. Korkealaatuisesta erittäin puhtaasta grafiittimateriaalista valmistetussa piikarbidilla päällystetyssä ICP-etsaustelineessämme on erittäin tasainen pinta ja erinomainen korroosionkestävyys, joka kestää käsittelyn ankarat olosuhteet. SiC-pinnoitetun kantoaineen korkea lämmönjohtavuus takaa tasaisen lämmön jakautumisen erinomaisten etsaustulosten saavuttamiseksi. VeTek Semiconductor odottaa innolla pitkäaikaisen kumppanuuden rakentamista kanssasi.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductorin PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor on korkealaatuinen, erittäin puhdas grafiittipidike, joka on suunniteltu kiekkojen käsittelyprosesseihin. Telineillämme on erinomainen suorituskyky ja ne toimivat hyvin ankarissa ympäristöissä, korkeissa lämpötiloissa ja ankarissa kemiallisissa puhdistusolosuhteissa. Tuotteitamme käytetään laajasti monilla Euroopan ja Amerikan markkinoilla, ja odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava nopean lämpöhehkutuksen suskeptorien valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet piikarbidipinnoitusmateriaaleihin useiden vuosien ajan. Tarjoamme nopean lämpöhehkutuksen suskeptorin korkealaatuisena, korkean lämpötilan kestävyyden ja erittäin ohuen. Toivotamme sinut tervetulleeksi vierailemaan tehdas Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely