Tantaalikarbidipinnoitteen tuki

VeTek Semiconductorin päätoimintoTantaalikarbidipinnoite (TaC).Tuki on parantaalämmönkestävyys, kulutuskestävyys ja korroosionkestävyyssubstraatista päällystämällä kerros tantaalikarbidipinnoitetta prosessin tarkkuuden ja luotettavuuden parantamiseksi ja komponenttien käyttöiän pidentämiseksi. Se on korkean suorituskyvyn pinnoitetuote, jota käytetään puolijohteiden käsittelyssä.

VeTek Semiconductor's Tantaali Carbide Coating Supporin Mohs-kovuus on lähes 9–10, toiseksi vain timantti. Sillä on erittäin vahva kulutuskestävyys ja se kestää tehokkaasti pinnan kulumista ja iskuja käsittelyn aikana, mikä pidentää tehokkaasti laitekomponenttien käyttöikää. Yhdessä sen korkean, noin 3880°C:n sulamispisteensä kanssa sitä käytetään usein puolijohdelaitteiden avainkomponenttien, kuten tukirakenteiden pintapinnoitteiden, lämpökäsittelylaitteiden, puolijohdelaitteiden kammioiden tai tiivisteiden pinnoittamiseen kulutuksenkestävyyden ja korkean lämpötilan parantamiseksi. vastus.

Tantaalikarbidin erittäin korkean, noin 3880°C:n sulamispisteen ansiosta puolijohdeprosesseissa, kuten esim.kemiallinen höyrypinnoitus (CVD)jafysikaalinen höyrypinnoitus (PVD), TaC-pinnoite, jolla on vahva korkean lämpötilan kestävyys ja kemiallinen korroosionkestävyys, voi tehokkaasti suojata laitteiden osia ja estää korroosiota tai alustan vaurioita äärimmäisissä ympäristöissä tarjoten tehokkaan suojan korkeissa lämpötiloissa kiekkojen valmistuksessa. Tämä ominaisuus määrittää myös sen, että VeTek Semiconductorin tantaalikarbidipinnoitustukea käytetään usein syövyttävissä ja syövyttävissä prosesseissa.

Tantaalikarbidipinnoitetukeen tehtävänä on myös vähentää hiukkaskontaminaatiota. Kiekkojen käsittelyn aikana pinnan kuluminen tuottaa yleensä hiukkaskontaminaatiota, joka vaikuttaa kiekon tuotteen laatuun. TaC Coatingin äärimmäiset tuotteen ominaisuudet, joiden kovuus on lähes 9-10 Mohsia, voivat tehokkaasti vähentää kulumista ja vähentää siten hiukkasten muodostumista. Yhdessä TaC Coatingin erinomaisen lämmönjohtavuuden (noin 21 W/m·K) kanssa se voi ylläpitää hyvää lämmönjohtavuutta korkeissa lämpötiloissa, mikä parantaa huomattavasti kiekkojen valmistuksen saantoa ja johdonmukaisuutta.

VeTek Semiconductorin tärkeimpiä TaC Coating -tuotteita ovat mmTaC Coating Heater, CVD TaC -pinnoitusupokas, TaC Coating Rotation SusceptorjaTaC Coating Varaosajne. ja tukea räätälöityjä tuotepalveluita. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan erinomaisia ​​tuotteita ja teknisiä ratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Toivomme vilpittömästi, että voimme tulla pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

CVD TaC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet：