Kiina Tantaalikarbidipinnoite Valmistaja, toimittaja, tehdas

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.

Päätuotteita ovatTantaalikarbidilla päällystetty vikarengas, TaC-pinnoitettu kiertorengas, TaC-päällystetyt puolikuuosat, tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy (Aixtron G10), TaC-pinnoitettu upokas; TaC päällystetyt renkaat; TaC-pinnoitettu huokoinen grafiitti; Tantaalikarbidipinnoite Grafiittisuskeptori; TaC-pinnoitettu ohjausrengas; TaC Tantaalikarbidilla päällystetty levy; TaC-pinnoitettu kiekko-suskeptori; TaC pinnoite rengas; TaC Coating Grafiitti Cover; TaC-pinnoitettu palajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.

TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.

Tärkeimmät ominaisuudet:

●Lämpötilan vakaus

●Ultra korkea puhtaus

●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

●Kestää lämpövarastoa

●Vahva tarttuvuus grafiittiin

●Muodollinen pinnoitteen peitto

● Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)

Sovellukset:

●Kiekon kantaja

● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

● Resistiivinen lämmityselementti

●Satelliittilevy

●Suihkupää

●Ohjausrengas

●LED Epi vastaanotin

●Ruiskutussuutin

●Peiterengas

● Lämpösuoja

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6.3 10^-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10^-5Ohmi*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

EDX data of TaC coating

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti	Atomiprosentti
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskimäärin
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-pinnoiteistukka TaC Coating Planetary Disk TaC päällystetty levy TaC-pinnoitteen pyörityslevy TaC-pinnoitteen vastaanotin CVD TaC pinnoite Kansi CVD TaC -pinnoiterengas TaC-pinnoituslevy

View as

<...4 5 6 7 8 >

Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite-valmistajana ja -toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetpa räätälöityjä palveluita vastaamaan alueesi erityistarpeita tai haluat ostaa kehittyneitä ja kestäviä Tantaalikarbidipinnoite Kiinassa valmistettuja tuotteita, voit jättää meille viestin.