VeTek Semiconductor on laajamittainen TaC-pinnoitettu rengas SiC-epitaksiaalisten reaktorien valmistajalle ja innovaattorille Kiinassa. Olemme erikoistuneet TaC-pinnoittamiseen useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus, korkea stabiilisuus, erinomainen korroosionkestävyys ja sidoslujuus. Tulet pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
VeTek Semiconductor on tunnettu Kiinassa toimiva yritys, joka tunnetaan asiantuntemuksestaan korkealaatuisten TaC- ja SiC-pinnoitteiden valmistuksessa sekä erittäin puhtaasta TaC-pinnoitetusta renkaasta SiC-epitaksiaaliselle reaktorille. Olemme ylpeitä voidessamme tarjota korkealaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Kutsumme sinut lämpimästi ottamaan yhteyttä meihin ja tutustumaan tarjoamiimme poikkeuksellisiin ratkaisuihin.
SiC-epitaksiaalisille reaktoreille tarkoitetuilla TaC-pinnoitetuilla renkaillamme on ratkaiseva rooli. Nämä renkaat ovat olennainen osa puolikuusarjaamme, ja ne tarjoavat tärkeitä toimintoja, kuten alustan tuen, tarkan lämpötilan hallinnan, tehokkaan lämmöneristyksen, tehokkaan ilmanvaihdon ja luotettavan suojan. Toimimalla harmonisesti nämä renkaat varmistavat reaktiokammiossa kasvatetun piikarbidiepitaksiaalikerroksen paksuuden, seostuksen ja vikaominaisuuksien huolellisen hallinnan.
Poikkeuksellisten TaC Coated Rings -renkaidemme lisäksi VeTek Semiconductor tarjoaa laajan valikoiman vastaavia tuotteita, jotka on suunniteltu erityisesti reaktiokammioihin. Tuotevalikoimamme sisältää ylä- ja alapuolikuut, suojakannet, eristyskannet ja prosessiilman ohjausliitännät. Jokainen näistä komponenteista käy läpi huolellisen SiC- tai TaC-pinnoitteen suorituskyvyn parantamiseksi ja niiden käyttöiän pidentämiseksi.
TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet | |
Tiheys | 14,3 (g/cm³) |
Ominaisemissiokyky | 0.3 |
Lämpölaajenemiskerroin | 6,3 10-6/K |
Kovuus (HK) | 2000 HK |
Resistanssi | 1×10-5 ohmia*cm |
Lämpöstabiilisuus | <2500 ℃ |
Grafiitin koko muuttuu | -10-20um |
Pinnoitteen paksuus | ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |