TaC Coating Heater

VeTek Semiconductor on johtava TaC Coating Heaterin valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Tällä tuotteella on erittäin korkea sulamispiste (noin 3880 °C). TaC Coating Heaterin korkea sulamispiste mahdollistaa sen toiminnan erittäin korkeissa lämpötiloissa, erityisesti galliumnitridi (GaN) epitaksiaalisten kerrosten kasvaessa metallin orgaanisen kemiallisen höyrypinnoitusprosessissa (MOCVD). VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyksellistä teknologiaa ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

TaC Coating Heater on korkean suorituskyvyn lämmityselementti, jota käytetään laajalti puolijohteiden valmistusprosesseissa. Sen pinta on päällystetty tantaalikarbidimateriaalilla (TaC), mikä antaa lämmittimelle erinomaisen korkeiden lämpötilojen kestävyyden, kemiallisen korroosionkestävyyden ja erinomaisen lämmönjohtavuuden.

TaC Coating Heaterin pääsovellukset puolijohteiden valmistuksessa ovat:

Galliumnitridin (GaN) epitaksiaalisen kasvuprosessin aikana TaC Coating Heater tarjoaa tarkasti kontrolloidun korkean lämpötilan ympäristön varmistaakseen, että epitaksiaalinen kerros kerrostuu alustalle tasaisesti ja korkealaatuisesti. Sen vakaa lämmöntuotto auttaa saavuttamaan ohutkalvomateriaalien tarkan hallinnan, mikä parantaa laitteen suorituskykyä.

Lisäksi metallin orgaanisen kemiallisen höyrypinnoitusprosessissa (MOCVD) yhdistettynä TaC-pinnoitteen korkean lämpötilan kestävyyteen ja lämmönjohtavuuteen TaC Coating Heater -lämmitintä käytetään yleensä reaktiokaasun lämmittämiseen, ja tasaisen lämmön jakautumisen ansiosta se edistää sen kemiallinen reaktio alustan pinnalla, mikä parantaa epitaksiaalikerroksen tasaisuutta ja muodostaa korkealaatuisen kalvon.

Alan johtavana TaC Coating Heater -tuotteissa VeTek Semiconducto tukee aina tuotteiden räätälöintipalveluita ja tyydyttäviä tuotehintoja. Riippumatta erityisvaatimuksistasi, löydämme parhaan ratkaisun TaC Coating Heater -tarpeisiisi ja odotamme konsultaatiotasi milloin tahansa.

TaC Coating Heaterin fyysiset perusominaisuudet:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6,3 10-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10-5 ohmia*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)