TaC Coating Varaosa

VeTek Semiconductor on ammattimainen TaC Coating Plate -levyn ja muiden TaC Coating -varaosien valmistaja Kiinassa. TaC Coatingia käytetään tällä hetkellä pääasiassa prosesseissa, kuten piikarbidin yksikidekasvatus (PVT-menetelmä), epitaksilevy (mukaan lukien piikarbidi-epitaksi, LED-epitaksi) jne. Yhdessä TaC-pinnoitelevyn, VeTek Semiconductor TaC:n, hyvän pitkäaikaisen stabiilisuuden kanssa Coating Platesta on tullut TaC Coatingin varaosien vertailukohta. Odotamme innolla, että sinusta tulee pitkäaikainen kumppanimme.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

VeTek puolijohdeTaC-pinnoituslevyon erikoismateriaali, jota käytetään laajastipuolijohdevalmistusprosessi. Yhdessä sen korkean kovuuden ja kulutuskestävyyden, korkean lämpötilan kestävyyden, korroosionkestävyyden, alhaisen kitkakertoimen ja hyvän lämmönjohtavuuden kanssa TaC Coating Plate on korvaamaton rooli monissa puolijohdekäsittelyn osissa.

Yleensä sovelluksetTaC-pinnoitetut levytpuolijohdekäsittelyssä ovat seuraavat:

CVD/ALD kasvualusta: TaC-pinnoitettujen levyjen korkean lämpötilan kestävyys, kemiallinen stabiilisuus ja alhainen kitkakerroin tekevät niistä ihanteellisia CVD/ALD-kasvualustoja. Se voi tarjota vakaan kasvuympäristön kalvon tasaisuuden ja tiheyden varmistamiseksi.

Etsaus maskilevy: TaC-pinnoitettujen levyjen korkea kovuus ja korroosionkestävyys mahdollistavat niiden kestämisen korkean energian prosessien, kuten plasmaetsauksen, etsausmaskilevyinä, jotka suojaavat alla olevaa kalvoa.

CMP kiillotustyyny: TaC-pinnoitettujen levyjen kulutuskestävyys ja alhainen kitkakerroin tekevät niistä ihanteellisia materiaaleja CMP-kiillotustyynyille, jotka voivat poistaa tehokkaasti hiukkasia ja vikoja kalvon pinnalta.

Korkean lämpötilan uuniputki: TaC-pinnoitettujen levyjen korkean lämpötilan kestävyys ja korroosionkestävyys mahdollistavat niiden käytön uuniputkina korkean lämpötilan uuneissa korkean lämpötilan hehkutuksessa, diffuusiossa ja muissa prosesseissa.

Yhdistettynä tuotteen ominaisuuksiinTaC-pinnoituslevy, se määrittää, että tällä tuotteella on korvaamaton keskeinen rooli laitteen suorituskyvyn parantamisessa, laitteiden käyttöiän pidentämisessä ja tuotannon tehokkuuden parantamisessa.

Ammattimaisena valmistajanaGaN SiC epi -akseptorilla, Huokoinen grafiittijaTaC-pinnoituslevyKiinassa VeTek Semiconductor vaatii aina räätälöityjen tuotepalvelujen tarjoamista ja on sitoutunut tarjoamaan alalle huipputeknologiaa ja tuoteratkaisuja. Odotamme vilpittömästi lisäneuvotteluasi.

CVD TAC COATING Tekniset parametrit：