Kiina Kiinteä piikarbidi Valmistaja, toimittaja, tehdas

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide on tärkeä keraaminen komponentti plasmaetsauslaitteissa, kiinteä piikarbidi (CVD piikarbidi) syövytyslaitteiston osat sisältävättarkennusrenkaat, kaasusuihkupää, tarjotin, reunarenkaat jne. Kiinteän piikarbidin (CVD-piikarbidin) alhaisen reaktiivisuuden ja johtavuuden vuoksi klooria ja fluoria sisältäviin syövytyskaasuihin, se on ihanteellinen materiaali plasmaetsauslaitteiden tarkennusrenkaisiin ja muihin komponentit.

Esimerkiksi tarkennusrengas on tärkeä osa, joka on sijoitettu kiekon ulkopuolelle ja suoraan kosketukseen kiekon kanssa, koska se kohdistaa renkaaseen jännitettä renkaan läpi kulkevan plasman fokusoimiseksi, jolloin plasma fokusoidaan kiekolle, mikä parantaa kiekon tasaisuutta. käsittelyä. Perinteinen tarkennusrengas on valmistettu silikonista taikvartsi, johtavana piin yleisenä tarkennusrengasmateriaalina, se on lähes lähellä piikiekkojen johtavuutta, mutta puute on huono etsauskestävyys fluoria sisältävässä plasmassa, syövytyskoneen osien materiaalit, joita käytetään usein jonkin aikaa, tulee olemaan vakavia korroosioilmiö, mikä heikentää vakavasti sen tuotantotehokkuutta.

Soli SiC Focus RingToimintaperiaate：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Ja-pohjaisen tarkennusrenkaan ja CVD SiC -tarkennusrenkaan vertailu:

Comparison of Si Based Focusing Ring and CVD SiC Focusing Ring
Tuote	Ja	CVD SiC
Tiheys (g/cm³)	2.33	3.21
Kaistaväli (eV)	1.12	2.3
Lämmönjohtavuus (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Kimmomoduuli (GPa)	150	440
Kovuus (GPa)	11.4	24.5
Kulutus- ja korroosionkestävyys	Huono	Erinomainen

VeTek Semiconductor tarjoaa kehittyneitä kiinteän piikarbidin (CVD piikarbidin) osia, kuten piikarbidin tarkennusrenkaita puolijohdelaitteisiin. Kiinteän piikarbidin tarkennusrenkaamme ylittävät perinteisen piin mekaanisen lujuuden, kemiallisen kestävyyden, lämmönjohtavuuden, korkeiden lämpötilojen kestävyyden ja ionisyövytyksen kestävyyden suhteen.

JaC-tarkennusrenkaidemme tärkeimpiä ominaisuuksia ovat mm:

Suuri tiheys vähentää etsausnopeuksia.

Erinomainen eristys korkealla nauhavälillä.

Korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajenemiskerroin.

Ylivoimainen mekaaninen iskunkestävyys ja elastisuus.

Korkea kovuus, kulutuskestävyys ja korroosionkestävyys.

Valmistettu käyttäenplasmalla tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD)JaC-tarkennusrenkaamme vastaavat puolijohteiden valmistuksen etsausprosessien kasvaviin vaatimuksiin. Ne on suunniteltu kestämään korkeampaa plasmatehoa ja -energiaa, erityisesti sisäänKapasitiivisesti kytketty plasma (CCP)järjestelmät.

VeTek Semiconductorin SiC-tarkennusrenkaat tarjoavat poikkeuksellisen suorituskyvyn ja luotettavuuden puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Valitse SiC-komponenttimme ylivertaisen laadun ja tehokkuuden saavuttamiseksi.

View as

Kiinteä SiC-kaasusuihkupää

VeTek Semiconductor on johtava Solid SiC -kaasusuihkupään valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet puolijohdemateriaaleihin useiden vuosien ajan. VeTek Semiconductor Solid SiC -kaasusuihkupään monihuokoinen muotoilu varmistaa, että CVD-prosessissa syntyvä lämpö voidaan hajauttaa. , varmistaen, että alusta lämpenee tasaisesti. Odotamme innolla, että pääsemme aloittamaan pitkän aikavälin kanssasi Kiinassa.

Lue lisää Lähetä kysely

Kemiallinen höyrypinnoitusprosessi Kiinteä piikarbidin reunarengas

VeTek Semiconductor on johtava kemiallisen höyrypinnoitusprosessin Solid SiC Edge Ring -valmistaja ja -kehittäjä Kiinassa. Olemme erikoistuneet puolijohdemateriaaleihin useiden vuosien ajan. VeTek Semiconductor solid SiC -reunarengas tarjoaa paremman etsauksen tasaisuuden ja tarkan kiekkojen sijoittelun, kun sitä käytetään sähköstaattisen istukan kanssa. , varmistaa johdonmukaiset ja luotettavat etsaustulokset. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäksi aikaa kumppaniksesi Kiinassa.

Lue lisää Lähetä kysely

Kiinteä piikarbidi syövytetty tarkennusrengas

VeTek Semiconductor on johtava Solid SiC -etsausfokusointirenkaiden valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet piikarbidimateriaaliin useiden vuosien ajan. Kiinteä piikarbidi on valittu fokusointirengasmateriaaliksi sen erinomaisen lämpökemiallisen stabiiliuden, korkean mekaanisen lujuuden ja plasman kestävyyden vuoksi. eroosio.Odotamme innolla, että pääsemme pitkäkestoiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lue lisää Lähetä kysely

<1 2 >

Ammattimaisena Kiinteä piikarbidi-valmistajana ja -toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetpa räätälöityjä palveluita vastaamaan alueesi erityistarpeita tai haluat ostaa kehittyneitä ja kestäviä Kiinteä piikarbidi Kiinassa valmistettuja tuotteita, voit jättää meille viestin.