VeTek Semiconductor on johtava SiC-päällystetty Pancake Susceptor LPE PE3061S 6" kiekkojen valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet SiC-pinnoitemateriaaliin useiden vuosien ajan. Tarjoamme SiC-päällysteisen pannukakkususkeptorin, joka on suunniteltu erityisesti LPE PE3061S 6" kiekkoille. . Tällä epitaksiaalisella suskeptorilla on korkea korroosionkestävyys, hyvä lämmönjohtavuus ja tasaisuus. Toivotamme sinut tervetulleeksi vierailemaan tehtaallamme Kiinassa.
Ammattimaisena valmistajana VeTek Semiconductor haluaa tarjota sinulle korkealaatuisen SiC-päällysteisen Pancake Susceptorin LPE PE3061S 6" kiekkoille.
VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor LPE PE3061S 6" kiekkoille on kriittinen laite, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa.
Stabiliteetti korkeissa lämpötiloissa: SiC:llä on erinomainen korkean lämpötilan stabiilisuus, mikä säilyttää rakenteensa ja suorituskyvyn korkeissa lämpötiloissa.
Erinomainen lämmönjohtavuus: SiC:llä on poikkeuksellinen lämmönjohtavuus, mikä mahdollistaa nopean ja tasaisen lämmönsiirron nopeaan ja tasaiseen lämmitykseen.
Korroosionkestävyys: SiC:llä on erinomainen kemiallinen stabiilisuus, se kestää korroosiota ja hapettumista erilaisissa lämmitysympäristöissä.
Tasainen kuumennusjakauma: SiC-päällystetty kiekkojen alusta tarjoaa tasaisen lämmön jakautumisen, mikä varmistaa tasaisen lämpötilan kiekon pinnalla lämmityksen aikana.
Soveltuu puolijohteiden tuotantoon: Si-epitaksikiekkojen alustaa käytetään laajalti puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti Si-epitaksikasvuun ja muihin korkean lämpötilan lämmitysprosesseihin.
Parempi tuotantotehokkuus: SiC-pinnoitettu pannukakkususkeptori mahdollistaa nopean ja tasaisen kuumentamisen, mikä vähentää lämmitysaikaa ja tehostaa tuotantoa.
Varmistettu tuotteen laatu: Tasainen lämmönjako varmistaa tasaisuuden kiekkojen käsittelyn aikana, mikä parantaa tuotteiden laatua.
Laitteen pidennetty käyttöikä: SiC-materiaali tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kemiallisen stabiilisuuden, mikä pidentää pannukakkususkeptorin käyttöikää.
Räätälöidyt ratkaisut: SiC-pinnoitettu suskeptori, Si-epitaksikiekkojen alusta voidaan räätälöidä eri kokoihin ja erittelyihin asiakkaan vaatimusten mukaan.
CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet | |
Omaisuus | Tyypillinen arvo |
Kristallirakenne | FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu |
Tiheys | 3,21 g/cm³ |
Kovuus | 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g) |
viljan koko | 2-10 μm |
Kemiallinen puhtaus | 99,99995 % |
Lämpökapasiteetti | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimaatiolämpötila | 2700 ℃ |
Taivutusvoima | 415 MPa RT 4-piste |
Youngin Modulus | 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃ |
Lämmönjohtavuus | 300W·m-1·K-1 |
Lämpölaajeneminen (CTE) | 4,5×10-6K-1 |