> Tuotteet > Piikarbidipinnoite > Silicon Epitaxy > SiC päällystetty Pancake Susceptor LPE PE3061S 6" kiekkoille

Uudet tuotteet

SiC päällystetty Pancake Susceptor LPE PE3061S 6" kiekkoille

VeTek Semiconductor on johtava SiC-päällystetty Pancake Susceptor LPE PE3061S 6" kiekkojen valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet SiC-pinnoitemateriaaliin useiden vuosien ajan. Tarjoamme SiC-päällysteisen pannukakkususkeptorin, joka on suunniteltu erityisesti LPE PE3061S 6" kiekkoille. . Tällä epitaksiaalisella suskeptorilla on korkea korroosionkestävyys, hyvä lämmönjohtavuus ja tasaisuus. Toivotamme sinut tervetulleeksi vierailemaan tehtaallamme Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Ammattimaisena valmistajana VeTek Semiconductor haluaa tarjota sinulle korkealaatuisen SiC-päällysteisen Pancake Susceptorin LPE PE3061S 6" kiekkoille.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor LPE PE3061S 6" kiekkoille on kriittinen laite, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa.

SiC Coated Pancake Susceptor LPE PE3061S 6" kiekkoille Tuoteominaisuudet:

Stabiliteetti korkeissa lämpötiloissa: SiC:llä on erinomainen korkean lämpötilan stabiilisuus, mikä säilyttää rakenteensa ja suorituskyvyn korkeissa lämpötiloissa.

Erinomainen lämmönjohtavuus: SiC:llä on poikkeuksellinen lämmönjohtavuus, mikä mahdollistaa nopean ja tasaisen lämmönsiirron nopeaan ja tasaiseen lämmitykseen.

Korroosionkestävyys: SiC:llä on erinomainen kemiallinen stabiilisuus, se kestää korroosiota ja hapettumista erilaisissa lämmitysympäristöissä.

Tasainen kuumennusjakauma: SiC-päällystetty kiekkojen alusta tarjoaa tasaisen lämmön jakautumisen, mikä varmistaa tasaisen lämpötilan kiekon pinnalla lämmityksen aikana.

Soveltuu puolijohteiden tuotantoon: Si-epitaksikiekkojen alustaa käytetään laajalti puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti Si-epitaksikasvuun ja muihin korkean lämpötilan lämmitysprosesseihin.

Tuotteen edut:

Parempi tuotantotehokkuus: SiC-pinnoitettu pannukakkususkeptori mahdollistaa nopean ja tasaisen kuumentamisen, mikä vähentää lämmitysaikaa ja tehostaa tuotantoa.

Varmistettu tuotteen laatu: Tasainen lämmönjako varmistaa tasaisuuden kiekkojen käsittelyn aikana, mikä parantaa tuotteiden laatua.

Laitteen pidennetty käyttöikä: SiC-materiaali tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kemiallisen stabiilisuuden, mikä pidentää pannukakkususkeptorin käyttöikää.

Räätälöidyt ratkaisut: SiC-pinnoitettu suskeptori, Si-epitaksikiekkojen alusta voidaan räätälöidä eri kokoihin ja erittelyihin asiakkaan vaatimusten mukaan.

SEM data and structure of CVD SIC films

CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet:

CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet
Omaisuus	Tyypillinen arvo
Kristallirakenne	FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu
Tiheys	3,21 g/cm³
Kovuus	2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g)
viljan koko	2-10 μm
Kemiallinen puhtaus	99,99995 %
Lämpökapasiteetti	640 J·kg-1·K-1
Sublimaatiolämpötila	2700 ℃
Taivutusvoima	415 MPa RT 4-piste
Youngin Modulus	430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃
Lämmönjohtavuus	300W·m-1·K-1
Lämpölaajeneminen (CTE)	4,5×10-6K-1

VeTek Semiconductor Production Shop

Yleiskatsaus puolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketjuun:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: SiC Coated Pancake Susceptor LPE PE3061S 6'' kiekkoille, Kiina, valmistaja, toimittaja, tehdas, räätälöity, osta, edistynyt, kestävä, valmistettu Kiinassa

Tuotemerkki

Aiheeseen liittyvä luokka