VeTek Semiconductorin ainutlaatuiset karbidipinnoitteet tarjoavat erinomaisen suojan grafiittiosille SiC Epitaxy Process -prosessissa vaativien puolijohde- ja komposiittipuolijohdemateriaalien käsittelyyn. Tuloksena on pidennetty grafiittikomponenttien käyttöikä, säilynyt reaktion stoikiometria, estetty epäpuhtauksien kulkeutumista epitaksi- ja kiteenkasvatussovelluksiin, mikä parantaa saantoa ja laatua.
Tantaalikarbidipinnoitteemme (TaC) suojaavat kriittisiä uunin ja reaktorin komponentteja korkeissa lämpötiloissa (jopa 2200°C) kuumalta ammoniakilta, vedystä, piihöyryiltä ja sulailta metalleilta. VeTek Semiconductorilla on laaja valikoima grafiitin käsittely- ja mittausominaisuuksia räätälöityjen vaatimusten täyttämiseksi, joten voimme tarjota maksullisen pinnoitteen tai täyden palvelun asiantuntijatiimimme kanssa, joka on valmis suunnittelemaan oikean ratkaisun sinulle ja sinun sovelluksellesi .
Yhdistetyt puolijohdekiteet
VeTek Semiconductor voi tarjota erityisiä TaC-pinnoitteita erilaisille komponenteille ja kantajille. VeTek Semiconductorin alan johtavan pinnoitusprosessin avulla TaC-pinnoite voi saavuttaa korkean puhtauden, korkean lämpötilan stabiilisuuden ja korkean kemiallisen kestävyyden, mikä parantaa kide-TaC/GaN)- ja EPl-kerrosten tuotteiden laatua ja pidentää kriittisten reaktorin komponenttien käyttöikää.
Lämmöneristimet
SiC-, GaN- ja AlN-kiteiden kasvatuskomponentit, mukaan lukien upokkaat, siemenpidikkeet, ohjaimet ja suodattimet. Teollisuuskokoonpanot, mukaan lukien resistiiviset lämmityselementit, suuttimet, suojarenkaat ja juotoskiinnikkeet, GaN- ja SiC-epitaksiaaliset CVD-reaktorin komponentit, mukaan lukien kiekkotelineet, satelliittialustat, suihkupäät, korkit ja jalustat, MOCVD-komponentit.
LED (Light Emitting Diode) kiekkoteline
ALD (Semiconductor) -vastaanotin
EPI-reseptori (SiC Epitaxy Process)
TaC-pinnoitettu satelliittisuskeptori TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating osat Halfmoon osat TaC-pinnoitteella
SiC | TaC | |
Pääpiirteet | Erittäin puhdas, erinomainen plasmankestävyys | Erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilius (korkean lämpötilan prosessinmukaisuus) |
Puhtaus | >99,9999 % | >99,9999 % |
Tiheys (g/cm 3) | 3.21 | 15 |
Kovuus (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6.7-7.2 |
Resistanssi [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Lämmönjohtavuus (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Lämpölaajenemiskerroin (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Sovellus | Puolijohdelaitteet Keraaminen jigi (tarkennusrengas, suihkupää, nukkekiekko) | SiC Yksikidekasvatus, Epi, UV-LED-laitteiden osat |
VeTek Semiconductor on laajamittainen tantaalikarbidilla päällystetty Halfmoon Part LPE-valmistajalle ja -kehittäjälle Kiinassa.Olemme erikoistuneet TaC-pinnoitteisiin useiden vuosien ajan. Tuotteemme kestävät yli 2000 celsiusasteen lämpötiloja, pidentävät kulutustarvikkeiden käyttöikää. Odotamme innolla. tulla pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidilla päällystettyjen planeettapyörivien levyjen valmistaja ja innovaattori Kiinassa. Olemme erikoistuneet keraamiseen pinnoitukseen useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus ja korkea lämpötilankesto. Odotamme innolla, että pääsemme pitkäaikainen kumppanisi Kiina.
Lue lisääLähetä kysely