Wafer Handling Robottivarsi

Vetek Semiconductor on ammattimainen kiekkoja käsittelevä robottikäsivarsi, joka on valmistettu lämpösumutustekniikalla.

1. Terminen ruiskutustekniikka voi tehokkaasti parantaa robottivarren kulutuskestävyyttä. Kiekkojen käsittelyrobottivarsi koskettaa usein kiekkoja ja muita laitteita käytön aikana. Tämä suurtaajuinen kosketus ja liike voivat helposti aiheuttaa mekaanisten osien kulumista. Ruiskuttamalla kulutusta kestäviä materiaaleja robottivarren pinnalle voidaan vähentää osien kulumista huomattavasti, pidentää robottivarren käyttöikää ja vähentää ylläpitokustannuksia.

2. Korroosionkestävyyden parantaminen on myös lämpöruiskutustekniikan merkittävä etu. Puolijohteiden valmistusprosessissa robottivarren on toimittava ympäristössä, joka on täynnä syövyttäviä kaasuja ja kemiallisia reagensseja. Nämä kemikaalit voivat syövyttää robottivartta, mikä vaikuttaa sen suorituskykyyn ja tarkkuuteen. Terminen ruiskutustekniikka voi muodostaa tiheän korroosionestopinnoitteen robottivarren pinnalle, mikä estää tehokkaasti syövyttävien aineiden tunkeutumisen ja varmistaa siten robottivarren vakaan toiminnan ankarissa ympäristöissä.

3. Thermal ruiskutustekniikka voi myös parantaa robottivarren lämpövakautta. Puolijohteiden valmistusprosessissa jotkin prosessit tuottavat korkeita lämpötiloja, ja robottivarren on ylläpidettävä tarkkaa toimintaa korkean lämpötilan ympäristössä. Terminen ruiskutustekniikka varmistaa, että robottivarsi ei muotoile tai hajoa korkeissa lämpötiloissa pinnoittamalla robottivarren pinta materiaaleilla, joilla on korkea lämpötilastabiilisuus, mikä parantaa koko tuotantolinjan luotettavuutta ja tarkkuutta.

4. Antistaattinen pinnoite parantaa edelleen robottivarren suorituskykyä. Kiekot ovat erittäin herkkiä staattiselle sähkölle, ja staattisen sähkön kerääntyminen voi aiheuttaa kiekon pinnan saastumista tai vaurioittaa elektronisia laitteita. Lämpösuihkutustekniikan avulla robottivarren pintaan voidaan muodostaa antistaattinen pinnoite, joka vähentää tehokkaasti staattisen sähkön syntymistä, suojaa kiekkoa staattisen sähkön aiheuttamilta vaurioilta sekä varmistaa tuotteen laadun ja turvallisuuden.

5. Terminen ruiskutustekniikka voi myös vähentää robottivarren hiukkaskontaminaatiota käytön aikana. Puolijohteiden valmistuksessa pienikin hiukkaskontaminaatio voi vaikuttaa kiekon laatuun. Lämpöruiskutustekniikalla voidaan muodostaa robottivarren pintaan sileä ja tiivis pinnoite, joka vähentää hiukkasten irtoamista, ylläpitää tuotantoympäristön puhtautta ja siten parantaa tuotteen saantoa.