Puolijohteinen lämpösumutustekniikka

Puolijohteinen lämpösumutustekniikka on edistynyt prosessi, joka suihkuttaa materiaaleja sulassa tai puolisulassa tilassa substraatin pinnalle pinnoitteen muodostamiseksi. Tätä tekniikkaa käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksessa, ja sitä käytetään pääasiassa pinnoitteiden luomiseen, joilla on tiettyjä tehtäviä substraatin pinnalle, kuten johtavuus, eristys, korroosionkestävyys ja hapettumisenkestävyys. Lämpöruiskutustekniikan tärkeimpiä etuja ovat korkea hyötysuhde, säädettävä pinnoitteen paksuus ja hyvä pinnoitteen tarttuvuus, mikä tekee siitä erityisen tärkeän suurta tarkkuutta ja luotettavuutta vaativassa puolijohteiden valmistusprosessissa.

Lämpösumutustekniikan soveltaminen puolijohteisiin

Plasmasädeetsaus (kuivaetsaus)

Yleensä viittaa hehkupurkauksen käyttöön plasmaaktiivisten hiukkasten tuottamiseen, jotka sisältävät varautuneita hiukkasia, kuten plasmaa ja elektroneja sekä erittäin kemiallisesti aktiivisia neutraaleja atomeja ja molekyylejä ja vapaita radikaaleja, jotka diffundoituvat syövytettävään osaan, reagoivat syövytetyn materiaalin kanssa, muodostavat haihtuvia tuotteet ja ne poistetaan, jolloin saadaan valmiiksi kuvionsiirron etsaustekniikka. Se on korvaamaton prosessi hienojen kuvioiden korkean tarkkuuden siirrossa fotolitografiamalleista kiekkoille ultra-suurten integroitujen piirien tuotannossa.

Muodostuu suuri määrä aktiivisia vapaita radikaaleja, kuten Cl ja F. Kun ne syövyttävät puolijohdelaitteita, ne syövyttävät laitteen muiden osien sisäpintoja, mukaan lukien alumiiniseokset ja keraamiset rakenneosat. Tämä voimakas eroosio tuottaa suuren määrän hiukkasia, mikä ei ainoastaan ​​vaadi tuotantolaitteiden säännöllistä huoltoa, vaan aiheuttaa myös syövytysprosessikammion vaurioitumisen ja laitteen vaurioitumisen vakavissa tapauksissa.

Y2O3 on materiaali, jolla on erittäin vakaat kemialliset ja lämpöominaisuudet. Sen sulamispiste on paljon yli 2400 ℃. Se voi pysyä vakaana voimakkaasti syövyttävässä ympäristössä. Sen plasmapommituksen kestävyys voi pidentää huomattavasti komponenttien käyttöikää ja vähentää hiukkasten määrää etsauskammiossa.

Yleisin ratkaisu on ruiskuttaa erittäin puhdasta Y2O3-pinnoitetta etsauskammion ja muiden avainkomponenttien suojaamiseksi.