VEECO MOCVD lämmitin

VeTeksemin VEECO MOCVD -lämmitin on valmistettu erittäin puhtaasta grafiittimateriaalista, jonka epäpuhtauspitoisuus on tiukasti valvottu alle 5 ppm, ja päällystetty erittäin puhtaalla piikarbidilla (SiC), jonka puhtaus on yli 99,99995 %.kemiallinen höyrypinnoitusprosessi (CVD).. Tämä materiaaliyhdistelmä antaa lämmittimelle joukon tärkeitä ominaisuuksia, jotka takaavat sen erinomaisen suorituskyvynmetallin orgaaninen kemiallinen höyrypinnoitus (MOCVD)käsitellä.

Yksi VEECO MOCVD -lämmittimen erinomaisista ominaisuuksista on sen poikkeuksellinen kemiallinen puhtaus. Erittäin puhdas grafiittiydin vähentää huomattavasti epäpuhtauksien mahdollista pääsyä korkean lämpötilan prosessiin, mikä varmistaa erittäin puhtaan kalvopinnoitusprosessin. TheCVD SiC pinnoitetarjoaa lisäsuojaa lämmittimelle muodostaen vahvan esteen estämään kemiallisia reaktioita, jotka voivat vahingoittaa kalvon laatua. Tämä vertaansa vailla oleva puhtaus on välttämätöntä korkean suorituskyvyn, luotettavien puolijohdelaitteiden valmistuksessa.

Samalla lämmittimellä on erittäin korkea lämmönkestävyys ja hyötysuhde. SiC:llä on korkea sulamispiste ja erinomainen lämmönjohtavuus, minkä ansiosta lämmitin hallitsee ja johtaa lämpöä tehokkaasti. Tämä varmistaa tasaisen lämpenemisen alustalla, mikä puolestaan ​​auttaa saavuttamaan tasaisen kalvon muodostumisen ja vähentämään lämpögradienttien aiheuttamia vikoja. Tällainen lämpötehokkuus on erityisen tärkeä tarkkuusvalmistuksessa.

VEECO MOCVD -lämmitin on erinomainen myös sähköisessä suorituskyvyssä. Sen erittäin puhdas grafiittiytimellä on erinomainen sähkönjohtavuus, minkä ansiosta lämmitin kestää korkeita sähkökuormitusvaatimuksia. Tämän vakaan sähköisen suorituskyvyn ansiosta lämmitin pystyy ylläpitämään tarkkaa lämpötilan säätöä ja kerrostumisnopeutta suuressa kuormituksessa, mikä on kriittistä tasaisten prosessiolosuhteiden varmistamiseksi ja puolijohteiden valmistuksen tehokkuuden parantamiseksi.

Kiukaan pintarakenne on huolellisesti optimoitu siten, että sillä on korkea substraattiemissiokyky, mikä parantaa merkittävästi säteilylämmönsiirron tehokkuutta. Tasainen lämpeneminen on avaintekijä tasaisen kalvon kerrostuksen paksuuden ja ominaisuuksien varmistamisessa. Korkean emissiivisen pinnan muotoilu parantaa myös lämmittimen yleistä lämpöhyötysuhdetta, mikä vähentää energiankulutusta ja käyttökustannuksia.

VeTeksemin VEECO MOCVD -lämmittimellä on kestävyyden kannalta erinomainen korroosionkestävyys, hapettumisenkestävyys ja mekaaninen lujuus. CVD SiC -pinnoite muodostaa kiinteän esteen MOCVD-prosesseissa yleisille syövyttäville kaasuille ja kemikaaleille, mikä pidentää laitteiden käyttöikää ja vähentää huoltotarvetta ja vaihtokustannuksia. Sen hapettumisenkestävyys varmistaa, että lämmitin pysyy vakaana korkeissa lämpötiloissa ilman suorituskyvyn heikkenemistä, mikä varmistaa pitkän aikavälin vakauden.

Lisäksi VeTeksemin MOCVD-lämmittimen korkea mekaaninen lujuus mahdollistaa sen kestämisen lämpökierron ja alustan käsittelyn aikana syntyviä fyysisiä rasituksia. Sen kestävyys vähentää mekaanisten vikojen riskiä ja varmistaa laitteiden luotettavan toiminnan vaikeissa prosessiolosuhteissa.

Edistyksellisenä VEECO MOCVD -lämmitintuotteiden valmistajana ja toimittajana VeTeksemi tarjoaa myös erilaisia ​​korkealaatuisia kiuastuotteita, kuten mm.TaC Coating Heater, piikarbidi keraaminen pinnoite grafiittilämmitin, piikarbidi keraaminen pinnoite lämmitinjne. VeTek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyksellisiä ja mukautettavia teknologia- ja tuoteratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Toivomme vilpittömästi, että voimme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.