MOCVD hyväksyjä

CVD SiC -pinnoitteen valmistajana VeTek Semiconductor haluaa tarjota sinulle Aixtron G5 MOCVD Susceptors, joka on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista ja CVD SiC -pinnoitteesta (alle 5 ppm).

Tervetuloa tiedustelemaan meitä.

Mikro-LED-tekniikka häiritsee olemassa olevaa LED-ekosysteemiä menetelmillä ja lähestymistavoilla, joita on tähän asti nähty vain LCD- tai puolijohdeteollisuudessa, ja Aixtron G5 MOCVD -järjestelmä tukee täydellisesti näitä tiukkoja laajennusvaatimuksia. Aixtron G5 on tehokas MOCVD-reaktori, joka on suunniteltu ensisijaisesti piipohjaiseen GaN-epitaksikasvuun.

On oleellista, että kaikilla valmistetuilla epitaksiaalisilla kiekoilla on erittäin tiukka aallonpituusjakauma ja erittäin alhaiset pintavirhetasot, mikä edellyttää innovatiivista MOCVD-tekniikkaa.

Aixtron G5 on vaakasuuntainen planeettalevyn epitaksijärjestelmä, pääasiassa planeettalevy, MOCVD-suskeptori, peiterengas, katto, tukirengas, kansilevy, poistoilman keräin, tappialuslevy, keräimen tulorengas jne., Päätuotemateriaalit ovat CVD SiC -pinnoite+ erittäin puhdas grafiitti, puolijohdekvartsi, CVD TaC -pinnoite + erittäin puhdas grafiitti, jäykkä huopa ja muut materiaalit.

MOCVD Susceptorin ominaisuudet ovat seuraavat:

Perusmateriaalin suojaus: CVD SiC -pinnoite toimii suojakerroksena epitaksiaalisessa prosessissa, joka voi tehokkaasti estää eroosion ja ulkoisen ympäristön vaurioitumisen perusmateriaaliin, tarjota luotettavia suojatoimenpiteitä ja pidentää laitteen käyttöikää.

Erinomainen lämmönjohtavuus: CVD SiC -pinnoitteella on erinomainen lämmönjohtavuus ja se voi siirtää nopeasti lämpöä perusmateriaalista pinnoitteen pintaan, mikä parantaa lämmönhallintatehokkuutta epitaksian aikana ja varmistaa, että laitteisto toimii sopivalla lämpötila-alueella.

Paranna kalvon laatua: CVD SiC -pinnoite voi tarjota tasaisen, tasaisen pinnan, joka tarjoaa hyvän perustan kalvon kasvulle. Se voi vähentää hilan epäsopivuuden aiheuttamia vikoja, parantaa kalvon kiteisyyttä ja laatua ja siten parantaa epitaksiaalikalvon suorituskykyä ja luotettavuutta.

CVD SiC -pinnoitteen fyysiset perusominaisuudet:

Teollisuusketju:

Tuotantomyymälä