MOCVD hyväksyjä
  • MOCVD hyväksyjäMOCVD hyväksyjä
  • MOCVD hyväksyjäMOCVD hyväksyjä

MOCVD hyväksyjä

Vetek Semiconductor keskittyy CVD SiC -pinnoitteen ja CVD TaC -pinnoitteen tutkimukseen ja kehittämiseen sekä teollistamiseen. Esimerkkinä MOCVD Susceptor -tuotteessa on erittäin tarkka, tiheä CVD SIC -pinnoite, korkea lämpötilakestävyys ja vahva korroosionkestävyys. Tiedustelut meille ovat tervetulleita.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

CVD SiC -pinnoitteen valmistajana VeTek Semiconductor haluaa tarjota sinulle Aixtron G5 MOCVD Susceptors, joka on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista ja CVD SiC -pinnoitteesta (alle 5 ppm).

Tervetuloa tiedustelemaan meitä.

Mikro-LED-tekniikka häiritsee olemassa olevaa LED-ekosysteemiä menetelmillä ja lähestymistavoilla, joita on tähän asti nähty vain LCD- tai puolijohdeteollisuudessa, ja Aixtron G5 MOCVD -järjestelmä tukee täydellisesti näitä tiukkoja laajennusvaatimuksia. Aixtron G5 on tehokas MOCVD-reaktori, joka on suunniteltu ensisijaisesti piipohjaiseen GaN-epitaksikasvuun.

On oleellista, että kaikilla valmistetuilla epitaksiaalisilla kiekoilla on erittäin tiukka aallonpituusjakauma ja erittäin alhaiset pintavirhetasot, mikä edellyttää innovatiivista MOCVD-tekniikkaa.

Aixtron G5 on vaakasuuntainen planeettalevyn epitaksijärjestelmä, pääasiassa planeettalevy, MOCVD-suskeptori, peiterengas, katto, tukirengas, kansilevy, poistoilman keräin, tappialuslevy, keräimen tulorengas jne., Päätuotemateriaalit ovat CVD SiC -pinnoite+ erittäin puhdas grafiitti, puolijohdekvartsi, CVD TaC -pinnoite + erittäin puhdas grafiitti, jäykkä huopa ja muut materiaalit.

MOCVD Susceptorin ominaisuudet ovat seuraavat:

Perusmateriaalin suojaus: CVD SiC -pinnoite toimii suojakerroksena epitaksiaalisessa prosessissa, joka voi tehokkaasti estää eroosion ja ulkoisen ympäristön vaurioitumisen perusmateriaaliin, tarjota luotettavia suojatoimenpiteitä ja pidentää laitteen käyttöikää.

Erinomainen lämmönjohtavuus: CVD SiC -pinnoitteella on erinomainen lämmönjohtavuus ja se voi siirtää nopeasti lämpöä perusmateriaalista pinnoitteen pintaan, mikä parantaa lämmönhallintatehokkuutta epitaksian aikana ja varmistaa, että laitteisto toimii sopivalla lämpötila-alueella.

Paranna kalvon laatua: CVD SiC -pinnoite voi tarjota tasaisen, tasaisen pinnan, joka tarjoaa hyvän perustan kalvon kasvulle. Se voi vähentää hilan epäsopivuuden aiheuttamia vikoja, parantaa kalvon kiteisyyttä ja laatua ja siten parantaa epitaksiaalikalvon suorituskykyä ja luotettavuutta.


CVD SiC -pinnoitteen fyysiset perusominaisuudet:

CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet
Omaisuus Tyypillinen arvo
Kristallirakenne FCC β-faasi monikiteinen, pääasiassa (111) orientoitu
Tiheys 3,21 g/cm³
Kovuus 2500 Vickersin kovuus (kuorma 500 g)
Jyvän koko 2-10 μm
Kemiallinen puhtaus 99,99995 %
Lämpökapasiteetti 640 J·kg-1·K-1
Sublimaatiolämpötila 2700 ℃
Taivutusvoima 415 MPa RT 4-piste
Youngin Modulus 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃
Lämmönjohtokyky 300W·m-1·K-1
Lämpölaajeneminen (CTE) 4,5×10-6K-1


Teollisuusketju:


Tuotantomyymälä


Hot Tags: MOCVD Susceptor, Kiina, valmistaja, toimittaja, tehdas, räätälöity, osta, edistynyt, kestävä, valmistettu Kiinassa
Aiheeseen liittyvä luokka
Lähetä kysely
Ole hyvä ja lähetä kyselysi alla olevalla lomakkeella. Vastaamme sinulle 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept