piikarbidi keraaminen pinnoite lämmitin

VeTek puolijohdeSilicon Carbide Ceramic Coating Coating Heater on lämmitin, joka on suunniteltu korkeisiin lämpötiloihin ja ankariin ympäristöihin. Se pinnoittaa kerroksen piihiilikeraamista pinnoitetta (SiC) lämmityselementin pinnalle antaen laitteelle erinomaisen lämmönkestävyyden, korroosionkestävyyden ja lämmönjohtavuuden. 

Piikarbidin keraaminen pinnoitelämmitinkäytetään pääasiassa tyhjiöpinnoitus (haihdutus) laitteissa. Yleisesti käytetyt menetelmät ovat PCD (Plasma Chemical Drying) ja PVD (Fysikaalinen höyrypinnoitus), joita käytetään laajalti puolijohteiden valmistuksessa ja muissa korkean kysynnän teollisissa sovelluksissa.

Yhdessä piikarbidin keraamisen pinnoitteen lämmittimen korkean suorituskyvyn pinnoitteen kanssa,se voi tarjota erinomaisen lämmitysratkaisun korkean lämpötilan prosesseihin.

Erinomainen lämmönjohtavuus: SiC-materiaalilla on erinomainen lämmönjohtavuus, mikä varmistaa, että lämmitin voi saavuttaa tasaisen lämmön jakautumisen työalueella ja vähentää lämpötilagradientteja.

Tarjoa tasainen lämmön jakautuminen: Silicon Carbide Ceramic Coating Coating Heater käyttää korkeaa piikarbidimateriaalin lämmönjohtavuutta saavuttaakseen tasaisen lämpötilan jakautumisen koko lämmitysalueella. Tämä on kriittistä puolijohdekiekkojen tasaisen lämpökäsittelyn varmistamiseksi erilaisissa korkean lämpötilan prosesseissa, kuten nopeassa lämpökäsittelyssä (RTP), diffuusiossa ja hapetuksessa, jotta vältetään paikallisen ylikuumenemisen tai epätasaisen lämpötilan aiheuttamat tuotevirheet.

Korkean lämpötilan sieto: SiC-pinnoite mahdollistaa lämmittimen kestävän erittäin korkeita lämpötiloja, tyypillisesti jopa 1600°C, soveltuu erilaisiin korkean lämpötilan prosesseihin.

Paranna lämmönkestävyyttä: Koska pinnoite kestää erittäin korkeita lämpötiloja, se toimii hyvin prosesseissa, jotka vaativat pitkäaikaista korkean lämpötilan käyttöä. Esimerkiksi kemiallisissa höyrypinnoitusprosesseissa (CVD) piikarbidikeraaminen pinnoitteen lämmitin voi varmistaa laitteiden pitkäaikaisen vakaan toiminnan korkeissa lämpötiloissa ja säilyttää tasaisen lämmitystehon, mikä parantaa prosessin toistettavuutta ja luotettavuutta.

Kemiallinen korroosionkestävyys: SiC-pinnoite kestää erittäin hyvin happoja, emäksiä ja syövyttäviä kaasuja, ja se voi pysyä vakaana pitkään monimutkaisessa kemiallisessa ympäristössä, mikä pidentää laitteen käyttöikää. 

Laitteen käyttöiän pidentäminen: SiC-pinnoitteella on erinomainen hapettumisenkestävyys ja korroosionkestävyys, ja se kestää tehokkaasti kemiallista eroosiota ja hapettumista korkeissa lämpötiloissa. Tämä on erittäin kriittistä puolijohteiden valmistusprosessissa, erityisesti ympäristössä, jossa käsitellään syövyttäviä kaasuja ja kemikaaleja. Pinnoitteen suojaava vaikutus voi merkittävästi pidentää lämmittimen käyttöikää ja vähentää laitteiden vaihto- ja huoltokustannuksia.

Piikarbidikeraamisen pinnoitteen lämmittimen fysikaaliset perusominaisuudet:

VeTek puolijohde piikarbidikeraaminen pinnoitelämmitinliikkeet:

Yleiskatsaus VeTek-puolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketjuun: