piikarbidi keraaminen pinnoite grafiittilämmitin

VeTek puolijohde Piikarbidikeraaminen pinnoite, grafiittilämmitinyhdistää grafiitin erinomaisen sähkön ja lämmönjohtavuuden sekä piihiilikeraamisen pinnoitteen korkean lämpötilan kestävyyden, korroosionkestävyyden ja kulutuskestävyyden, ja se on suunniteltu ankariin puolijohteiden valmistusympäristöihin. 

Keraaminen piikarbidipinnoite grafiittilämmitinKäytetään pääasiassa tyhjiöpäällystys- (haihdutus) laitteissa, ja yleisesti käytetyt menetelmät ovat PCD (Plasma Chemical Drying) ja PVD (Fysikaalinen höyrypinnoitus). Tällä tuotteella on ollut tärkeä rooli teknologian kehityksen edistämisessä ja tuotannon tehokkuuden parantamisessa puolijohdeteollisuudessa.Odotamme vilpittömästi lisäyhteistyötä kanssasi.

Piikarbidin keraamisen pinnoitteen grafiittilämmittimen materiaali- ja rakenneominaisuudet ovat seuraavat:

Grafiittisubstraatti: Grafiitti tunnetaan korkeasta lämmönjohtavuudestaan ​​ja alhaisesta lämpölaajenemiskertoimestaan. Se pystyy reagoimaan nopeasti lämpötilan muutoksiin ja ylläpitämään rakenteellista vakautta korkeissa lämpötiloissa.

Piihiilikeraaminen pinnoite: SiC-pinnoite päällystetään tasaisesti grafiitin pinnalle kemiallisen höyrypinnoituksen tai muiden kehittyneiden prosessien avulla. SiC:llä on erittäin korkea kovuus ja kemiallinen korroosionkestävyys, mikä voi suojata grafiittialustaa korkean lämpötilan hapettumiselta ja syövyttävältä ympäristöltä.

Piikarbidikeraaminen pinnoite, grafiittilämmitin -tuotteen erityinen rakennesuunnittelu määrittäätämän tuotteen korvaamattomat tuoteedut puolijohteiden käsittelyprosessissa:

Tehokas ja tasainen lämmitys:

Lämmönjohtavuus: Grafiitin korkea lämmönjohtavuus mahdollistaa sen, että lämmitin saavuttaa ja ylläpitää nopeasti vaaditun lämpötilan, ja SiC-pinnoite varmistaa tasaisen lämmön jakautumisen. Tämä on erityisen tärkeää puolijohdeprosesseissa, jotka vaativat tarkkaa lämpötilan säätöä, kuten nopeaa lämpökäsittelyä (RTP) ja kemiallista höyrypinnoitusta (CVD).

Lämpötilan tasaisuus: Tasaisen lämmön jakautumisen ansiosta piikarbidikeraaminen pinnoitegrafiittilämmitin voi tehokkaasti vähentää lämpörasitusta ja lämpötilagradienttia varmistaen puolijohdekiekkojen johdonmukaisuuden ja laadun vakauden koko lämmitysprosessin ajan.

Korroosionestosuoja:

Kemiallinen kestävyys: SiC-pinnoitteen kemiallinen korroosionkestävyys mahdollistaa lämmittimen toiminnan vakaasti ja pitkään syövyttävissä kaasu- ja kemiallisissa ympäristöissä välttäen grafiittisubstraatin vaurioitumisen. Tämä ominaisuus on erityisen kriittinen prosesseissa, kuten kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) ja plasman tehostettu kemiallinen höyrypinnoitus (PECVD).

Hapettumiskestävyys: Korkeissa lämpötiloissa SiC-pinnoite voi estää grafiittisubstraatin hapettumisen, pidentää lämmittimen käyttöikää ja vähentää laitteiden ylläpidon tiheyttä ja kustannuksia.

Vähennä hiukkasten saastumista:

Pinnan vakaus: SiC-pinnoite ei ole vain kulutusta kestävä, vaan se myös estää hiukkasten putoamisen materiaalin pinnalta lämpökierron tai kemiallisten reaktioiden vuoksi, mikä vähentää puolijohteiden valmistuksen aikana mahdollisesti tapahtuvan hiukkaskontaminaation riskiä ja varmistaa erittäin puhtaan prosessiympäristön.

Paranna prosessin luotettavuutta ja tehokkuutta:

Pitkäikäinen muotoilu: Grafiitin mekaanisen lujuuden ja SiC-pinnoitteen kulutuskestävyyden yhdistelmän ansiosta piikarbidikeraaminen grafiitinlämmitin voi ylläpitää korkean hyötysuhteen pitkään vaikeissa prosessiolosuhteissa, mikä parantaa merkittävästi laitteiden yleistä luotettavuutta.

Tehokas energiankäyttö: Grafiitin korkea lämmönjohtavuus ja piikarbidipinnoitteen korkeiden lämpötilojen stabiilisuus mahdollistavat lämmittimen vähentämisen energiankulutuksessa ja samalla parantaen lämpötilan säädön tarkkuutta, mikä parantaa puolijohteiden tuotannon yleistä tehokkuutta.

Fysikaaliset perusominaisuudetPiikarbidikeraaminen pinnoite, grafiittilämmitin:

VeTek puolijohdePiikarbidikeraaminen pinnoite, grafiittilämmitinkauppoja:

Yleiskatsaus puolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketjuun:

/muu-prosessi